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OPTM 系列顯微分光膜厚儀
| 型號 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
| 波長范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 測定時間 | 1秒 / 1點 | ||
| 光斑大小 | 10μm (小約5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 | |
| 電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規(guī)格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體 部分) | ||
| 重量 | |||
| 約 55kg（自動樣品臺規(guī)格之主體部分） |
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