RPT-1200 速退火爐主要用途:主要用于稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等行業(yè)進行真空燒結、氣氛保護燒結、真空鍍膜、CD實驗、物質(zhì)成分測量等場合。既可以用于材料的快速（500℃/S）升降溫退火，也可用于化學氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備， 稍加調(diào)整，一機多用。

產(chǎn)品特點

·最大4英寸基片都可以放入退火

·推拉滑軌式法蘭卡扣密封，方便快接放取樣品。

·紅外加熱極速升溫450℃/S，極速降溫80℃/S；

·雙層爐管結構，氣氛與樣品接觸更均勻；

·直接測量樣品表面溫度，測溫更精準；

·爐膛根據(jù)設置可自動左右移動，實現(xiàn)快速降溫或更多的實驗應用；

·豐富的擴展接口，能夠滿足各類試驗的需求。

·可以保護氣氛環(huán)境下冷卻

加熱系統(tǒng)

·輸入電源AC380V50HZ，最大功率：15KW

·極限工作溫度：1200℃（＜30min)，長期工作溫度：1100℃

·控溫熱電偶：S型熱電偶，緊貼在ALN片樣品臺下（ALN片為標配， 可按照客戶要求定制不同材質(zhì)基片）

·加熱元件：紅外燈管6根短波紅外燈管，每根2.5KW

·加熱區(qū)尺寸：Ф170mm*200mm

·石英管：Ф110*380mm

控制系統(tǒng)

·可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩；

·嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智 能式人機對話模式，實驗過程更加直觀，操作更加便捷；

·非線性式樣溫度修正；具有預約啟動功能（選配功能）。

·具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)

·水冷密封法蘭，密封法蘭和腔體法蘭之間采用硅膠O型圈密封方式。

·右端法蘭裝有機械壓力表和進氣截止閥，預留KF真空接口，石英觀 察窗口。

·右端法蘭內(nèi)側有石英制隔熱堵頭和樣品支架，熱電偶測溫點位于樣品 正下方。

右·端法蘭安裝在滑軌上可以直接推拉，實現(xiàn)快速放取樣品。

水冷機（選配）

型號：CW-5000

·工作電壓：AC220V50HZ

·工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

·壓縮機功率：300W，水箱容量：6L

·最大流量：16L/min，凈重：24Kg

真空系統(tǒng)（選配）

·配套機械泵，真空度可以達到10-2Pa

·配套分子泵，真空度可以達到10-4Pa

產(chǎn)品尺寸:800*540*750mm

重量:約100kg

保質(zhì)期:1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）

注意事項:

·設備爐膛溫度≥300℃時，移動爐膛后，禁止觸碰原爐膛所在位置的石 英管，避免受到傷害；

·設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；

·設備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；

·真空下使用時，設備使用溫度不得超過800℃。

·供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓 閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa, 使用時會更加精確安全。

·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓 需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)；

● 高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃

● 加熱的實驗時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若 需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若絕對壓 力表讀數(shù)大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生 （如爐管破裂等）。