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MKS微型皮拉尼真空計(jì)(925)是一種基于獨(dú)特 MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))真空傳感器的熱導(dǎo)真空計(jì)。(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)