中圖儀器VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量，具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；以及二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度、角度、半徑等尺寸測量。廣泛應(yīng)用于超精密加工行業(yè)高效管控，如半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域。

一、產(chǎn)品功能

（1）3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

（2）影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度、角度、半徑等尺寸測量；

（3）自動(dòng)拼接功能：設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

（4）數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

（5）分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

（6）批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

（7）便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；

（8）光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；

（9）鏡頭安全功能：VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、精度與效率雙提升：相同物鏡下橫向分辨率更高，圖像細(xì)節(jié)更清晰，直觀測量模式+批量分析功能，大幅縮短檢測周期，降低時(shí)間成本。

2、全場景測量覆蓋：從納米到微米級(jí)，無論是光滑/粗糙表面、低/高反射率材質(zhì)，均可精準(zhǔn)測量粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓等關(guān)鍵參數(shù)。

3、安全與穩(wěn)定雙保障：雙重防撞保護(hù)+光源智能節(jié)能設(shè)計(jì)，減少設(shè)備損耗，延長使用壽命，降低運(yùn)維成本。

4、合規(guī)：符合ISO/ASME/EUR/GBT等多行業(yè)國際標(biāo)準(zhǔn)，300余種2D/3D參數(shù)測量能力，數(shù)據(jù)可追溯。

三、應(yīng)用行業(yè)

1、核心應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造及封裝、3C電子玻璃屏與精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件。

2、拓展應(yīng)用場景：航空航天零部件檢測、科研院所研發(fā)實(shí)驗(yàn)、超精密加工行業(yè)品質(zhì)管控等。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置可能因技術(shù)升級(jí)調(diào)整，具體以實(shí)際溝通為準(zhǔn)。

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