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RPS電源（BRT系列）產(chǎn)品

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

RPS電源是一款小型射頻電源，專用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，在氧化物、氮化物清洗工藝中有著廣泛的應(yīng)用。RPS電源為模擬系統(tǒng)控制，可通過(guò)自調(diào)頻系統(tǒng)進(jìn)行功率輸出調(diào)節(jié)，輸出功率以電流反饋的形式進(jìn)行采集。電源自帶功率輸出對(duì)插接口，可穩(wěn)定輸出48KHz-92KHz的高壓正弦波，并維持等離子體的穩(wěn)定性。

詳細(xì)介紹

創(chuàng)新點(diǎn)

具備電流控制功能

快速且穩(wěn)定的電流閉環(huán)控制系統(tǒng)。

具備輸出電流監(jiān)控功能

通過(guò)高精度霍爾傳感器及RMS檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)控輸出電流。

具備互鎖功能

可靠的一體化互鎖系統(tǒng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體-集成電路

半導(dǎo)體-封裝

半導(dǎo)體顯示

半導(dǎo)體照明

半導(dǎo)體-微機(jī)電系統(tǒng)

功率半導(dǎo)體

化合物半導(dǎo)體

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)	BRT0150L	BRT0150LC
電源輸入	220V±10%，50/60Hz
輸出類型	正弦波
輸出頻率	48KHz-92KHz
輸入輸出隔離	>500M
輸出功率精度	2W或2%
輸出電流	300mA max
互鎖調(diào)節(jié)	不可調(diào)	可調(diào)

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