晶圓傳輸平臺(tái)是半導(dǎo)體工藝設(shè)備的構(gòu)成部分，主要實(shí)現(xiàn)晶圓在潔凈環(huán)境以及真空環(huán)境下在不同模塊下的自動(dòng)化傳輸，晶圓傳輸平臺(tái)可以快速在大氣及真空狀態(tài)進(jìn)行切換，滿足系統(tǒng)工藝需求。 該設(shè)備主要由用于實(shí)現(xiàn)晶圓在工藝過程中在不同工藝模塊之間的傳輸。本系統(tǒng)包括前段用于實(shí)現(xiàn)上料功能，存放片盒（Cassette，用于承裝6寸或8寸的晶圓）的VCE（Vacuum Cassette Elevator，真空片盒升降機(jī)），平臺(tái)真空腔室，真空機(jī)械手（Vacuum Robot），真空對(duì)準(zhǔn)器（Aligner），Cooler冷卻組件，晶圓分離組件（WSM）等部件構(gòu)成。用于實(shí)現(xiàn)6吋/8吋晶圓的傳輸。設(shè)備內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù)，保障晶圓傳輸過程中，人員與設(shè)備的安全。