設(shè)計(jì)

外殼和排水設(shè)計(jì)便于在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換。模塊化設(shè)計(jì)使用戶能夠通過多種不同的配件升級(jí)設(shè)備，從而簡(jiǎn)化分配操作和整體處理流程。

液體過濾捕集器

SPINx 系列配備液體過濾捕集器，用于保護(hù)旋涂機(jī)的關(guān)鍵部件。它能將通過處理腔室或真空卡盤進(jìn)入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集在液體容器中。通過旋涂機(jī)外殼上的開口可查看該容器，便于維護(hù)。

自動(dòng)蓋子

可通過用戶界面或腳踏板（非常適合手套箱環(huán)境使用）自動(dòng)打開和關(guān)閉蓋子。此外，還可以在工藝配方的最后一步自動(dòng)打開蓋子。

電機(jī)回零位置

新款 SPINx 系列能夠設(shè)定電機(jī)回零位置，便于集成到機(jī)器人控制 / 自動(dòng)化環(huán)境中。

標(biāo)準(zhǔn)配件：

• 適用于 4-6 英寸晶圓的真空卡盤

• 適用于 10 毫米及更大尺寸碎片的碎片適配器

適用工藝：

• 涂層

• 清潔

• 漂洗 / 干燥

• 顯影

• 蝕刻

• PDMI 及其他工藝

硬件規(guī)格：

• 液體過濾捕集器

• 自動(dòng)蓋子（高級(jí)版還可通過腳踏板控制）

• 可編程電機(jī)回零位置

• 用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架

• 用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器

• 大尺寸（可拆卸）觸摸顯示屏

• 用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新的 USB 端口

• 驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格：間接式無刷驅(qū)動(dòng)單元，最高 12,000 轉(zhuǎn) / 分；高加速度和精度，1-30,000 轉(zhuǎn) / 分；順時(shí)針 / 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)和 puddle 模式；可在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換的設(shè)計(jì)