Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產(chǎn)品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機設計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學腐蝕的藍寶石管所取代。真空密封設計和腔室材料的選擇已被優(yōu)化，以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進行等離子體蝕刻的應用，SEMI-KLEEN 藍寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產(chǎn)品應用

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機已被用于存款薄膜，在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面，以及從金屬表面清潔碳和氧污染物。客戶的測試結果表明，SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。