高精度直驅(qū)電控平移臺產(chǎn)品說明：

無刷直驅(qū)驅(qū)動，高動態(tài)響應；

光柵尺全閉環(huán)反饋，分辨率達50nm；

高精度、高穩(wěn)定性，無回程差，重復精度可達0.25μm；

運行平穩(wěn)，速度波動小，最高速可達500mm/s；

兩款行程可選：220mm、300mm；

直驅(qū)平移臺是一款長行程、高精度的直驅(qū)電控平移臺產(chǎn)品，具有220mm、300mm兩種行程選擇，采用無刷直驅(qū)電機驅(qū)動，消除機械干擾點，并采用直接驅(qū)動技術(shù)避免背隙；主體結(jié)構(gòu)采用高硬度鋁合金材料，導向機構(gòu)采用是精密線性軸承，滿足高剛度以及線性度；采用光柵尺閉環(huán)反饋，提高了產(chǎn)品的精度，雙向重復精度可達到±0.25μm。線纜安裝內(nèi)置，使得產(chǎn)品整體更簡潔美觀。配合控制器以及軟件界面，可達到更優(yōu)的精度。

高精度直驅(qū)電控平移臺產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品尺寸：