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當(dāng)前位置：上海納騰儀器有限公司>>產(chǎn)品展示
緊湊型臺(tái)式光刻系統(tǒng)重新定義無(wú)掩模光刻技術(shù)LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺(tái)式光刻系統(tǒng)利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實(shí)現(xiàn)無(wú)掩模圖案化。設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔...
SUME BW510是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的半自動(dòng)晶圓鍵合設(shè)備，具備良好的壓力與溫度均勻性較為特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證鍵合的壓盤相對(duì)水平，優(yōu)良的真空系統(tǒng)以及腔體設(shè)計(jì)，方...
全自動(dòng)步進(jìn)重復(fù)式激光干涉光刻機(jī)VIL 1000納米光刻系統(tǒng)具有全自動(dòng)光路重構(gòu)、動(dòng)態(tài)鎖相、高精度步進(jìn)重復(fù)曝光等強(qiáng)大功 能。在放置旋涂好光刻膠的 晶圓后，無(wú)需任何手...
晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)x具備三維翹曲（平整度）及薄膜應(yīng)力的檢測(cè)功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)
高級(jí)研究型高光譜顯微系統(tǒng)結(jié)合了高光譜技術(shù)和顯微鏡技術(shù)，能夠在不同波長(zhǎng)范圍內(nèi)獲取高分辨率的光譜信息與生物樣品形態(tài)圖，實(shí)現(xiàn)在一張圖中同時(shí)獲取光譜和圖像信息。該系統(tǒng)還...
SPRm200 表面等離子共振顯微鏡工作原理基于表面等離子共振（SPR）技術(shù)。是世界上先將表面等離子體共振技術(shù)和光學(xué)顯微鏡巧妙結(jié)合為一體的生物傳感檢測(cè)儀?？梢酝?..
Nano Indenter? G200原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)是一種準(zhǔn)確，靈活，使用方便的納米級(jí)機(jī)械測(cè)試儀器。 G200 測(cè)量楊氏模量和硬度，包括從納米到毫米的六個(gè)...
生物型原子力顯微鏡Park NX12-Bio是一個(gè)強(qiáng)大的三合一生物研究工具，將掃描離子電導(dǎo)顯微鏡(SICM)與原子力顯微鏡(AFM)和倒置光學(xué)顯微鏡(IOM)融...
與X射線用氮化硅窗口類似，透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口也使用低應(yīng)力氮化硅薄膜基底。但整體尺度更小，適合TEM裝樣的要求。窗口有單窗口和多窗口陣列等不同規(guī)格...
Element 能量色散譜 (EDS) 系統(tǒng)為一款緊湊裝置，分析能力十分強(qiáng)大，可極大限度提升性能和靈活性，同時(shí)提供簡(jiǎn)化操作以確?？焖佾@得結(jié)果且易于使用。它專注于...
原位納米壓痕儀 SEM/AFM/LM NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進(jìn)行各種原位力學(xué)測(cè)試；也可以直接在大氣環(huán)境下測(cè)試。本產(chǎn)品可進(jìn)行硬度和楊氏模量測(cè)試...
FT-NMT04納米力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)是一種多功能的原位掃描電鏡/光纖納米壓頭，能夠準(zhǔn)確量化材料在微觀和納米尺度上的力學(xué)行為。
自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀P17。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測(cè)量，掃描可達(dá)200mm無(wú)需圖像拼接。結(jié)合UltraLite?傳感器、恒...
InSEM HT高溫原位納米壓痕儀（高溫）通過(guò)在真空環(huán)境中單加熱jian端和樣品來(lái)測(cè)量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM?HT與掃描電子顯微鏡（SEM）和聚焦...
Filmetrics R50 是KLA電阻測(cè)試家族的最新產(chǎn)品。R50方阻測(cè)試儀是KLA超45年電阻測(cè)量技術(shù)地位之作。電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至...
P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP?-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為...
Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟(jì)三維光學(xué)輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測(cè)量。我司有此機(jī)器...
TNI LF-2000原位自動(dòng)納米操作系統(tǒng)是目前市面上基于SEM電鏡下使用的高自動(dòng)化程度的納米操作系統(tǒng)，也是一種能夠在SEM電鏡下提供可重復(fù)定位、低漂移、閉環(huán)運(yùn)...
P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D...
iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀是一種緊湊，用戶友好的納米機(jī)械測(cè)量系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于硬涂層，薄膜和少量材料。該系統(tǒng)旨在進(jìn)行準(zhǔn)確，可重復(fù)的納米級(jí)機(jī)械測(cè)試，包括壓痕，硬度...
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