SEM5000E超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
- 公司名稱 深圳市新瑪科技有限公司
- 品牌 國儀量子
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/6 16:15:35
- 訪問次數(shù) 673
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示波器,電子負(fù)載,熱像儀,邏輯分析儀,頻譜分析儀,數(shù)據(jù)采集器,安規(guī)綜合測試儀,交直流電源,電磁兼容EMC測試和EMC整改的解決方案,
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 場發(fā)射 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
| 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV,SE/1.0 nm @1kV,SE | 加速電壓 | 20V~30 kV |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000x | 電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 |
SEM5000E超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電鏡,電子光學(xué)鏡筒設(shè)計優(yōu)化,綜合像差降低了 30%,從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性,可在優(yōu)良納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢。

SEM5000E超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品優(yōu)勢
超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
高壓隧道技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
高精度機械優(yōu)中心樣品臺,可搭配整體罩殼設(shè)計,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
最大支持4寸晶圓的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
產(chǎn)品參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV,SE |
| 1.0 nm @ 1 kV,SE | ||
| 加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 攝像頭 | 雙攝像頭(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控) |
| 樣品臺行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
| 探測器和擴展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測器(Inlens) |
| 倉室內(nèi)電子探測器(ETD) | ||
| 選配 | 插入式背散射電子探測器(BSED) (五分割,可選配) | |
| 插入式掃描透射探測器(STEM) | ||
| 能譜儀(EDS) | ||
| 背散射衍射(EBSD) | ||
| 樣品交換倉(4寸) | ||
| 軌跡球&旋鈕板 | ||
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航,軌跡球(選配) | |
| 圖像記錄 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
應(yīng)用案例






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