飛納臺式掃描電鏡能夠提供優(yōu)質(zhì)的電子光束

來源：復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司 2026年03月11日 15:41

　　飛納臺式掃描電鏡采用高亮度六硼化鈰(CeB6)電子源，具備快速成像、操作簡便、維護成本低等優(yōu)勢。

　　1.電子束產(chǎn)生：電子槍發(fā)射出高能量的電子束，這是整個觀察過程的起點。傳統(tǒng)掃描電鏡多使用鎢燈絲作為電子源，而飛納臺式掃描電鏡采用高亮度六硼化鈰(CeB6)電子源，這種電子源具有更高的亮度和穩(wěn)定性，能夠提供更優(yōu)質(zhì)的電子束。

　　2.電子束聚焦與掃描：產(chǎn)生的電子束在電磁透鏡系統(tǒng)的作用下被準確聚焦成細小的光斑，并按照一定的規(guī)律在樣品表面進行掃描。通過控制電磁透鏡的電流強度，可以靈活調(diào)整焦距和放大倍數(shù)，從而適應(yīng)不同樣品的觀察需求。

　　3.信號探測：當(dāng)電子束與樣品相互作用時，會激發(fā)樣品產(chǎn)生多種物理信號，如二次電子、背散射電子等。配備的高靈敏度探測器，能夠準確捕捉這些從樣品表面逸出的信號。

　　4.圖像構(gòu)建：探測器將收集到的信號轉(zhuǎn)化為電信號，經(jīng)過復(fù)雜的處理后生成清晰、準確的圖像。計算機系統(tǒng)對這些圖像數(shù)據(jù)進行分析和處理，呈現(xiàn)出樣品表面的微觀形貌和結(jié)構(gòu)信息。

　　飛納臺式掃描電鏡的測定步驟：

　　1.樣品制備

　　-確保樣品干燥、清潔，避免油污或灰塵污染。非導(dǎo)電樣品需進行噴金或噴碳處理以提高導(dǎo)電性。

　　-將樣品固定在導(dǎo)電膠上，用鑷子輕壓使其牢固粘附，并用高壓氣體吹掃表面。

　　-調(diào)節(jié)樣品杯高度，使樣品面低于樣品杯邊緣約3mm(旋轉(zhuǎn)高度調(diào)節(jié)環(huán)鈕6個刻度)，避免進樣時碰撞設(shè)備。

　　2.儀器準備

　　-開機預(yù)熱，啟動真空系統(tǒng)，確保樣品室達到所需真空度。

　　-設(shè)置初始參數(shù)：加速電壓通常為10kV，束流調(diào)至“標準”模式，背散射成像模式。

　　3.觀察與成像

　　-通過低倍率快速定位目標區(qū)域，逐步切換至高倍率觀察。

　　-分階段聚焦：先1000-3000倍粗聚焦，再2萬倍精細調(diào)焦(點擊F圖標)，降至目標倍數(shù)(如5000或1萬倍)自動或手動調(diào)節(jié)對比度/亮度。

　　-拍照保存至U盤，記錄放大倍數(shù)及順序以便后期整理。

　　4.結(jié)束操作

　　-退出真空狀態(tài)，取出樣品杯時需平放桌面，用鑷子取下載物臺，避免碰撞電極片。

　　-關(guān)閉電源并設(shè)置為待機模式，樣品杯密封保存于干燥袋中。

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