微透鏡陣列是由大量微米級(jí)透鏡單元按一定規(guī)律排列而成的光學(xué)元件，具有光束勻化、波前調(diào)制、光場(chǎng)成像等關(guān)鍵功能。它廣泛應(yīng)用于激光光束整形、3D傳感、車載HUD、AR/VR近眼顯示、光通信及集成電路光刻系統(tǒng)等領(lǐng)域。

不同形態(tài)的微陣列的空間排列及有效像素面積示意圖

圖片來源：doi.org/10.3390/mi15091166

然而，微透鏡陣列的光學(xué)性能，高度依賴于其微觀三維形貌的加工精度。光學(xué)領(lǐng)域中，無論是曲率半徑、面形偏差還是陣列的均勻性，任何微小的偏差都可能導(dǎo)致光束質(zhì)量下降、成像畸變或能量損失。同時(shí)，在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，在制造、加工等也有不同的應(yīng)用。微結(jié)構(gòu)直接制作在硅片或者藍(lán)寶石等透明或非透明襯底上，制造過程中微透鏡的表面形貌、曲率半徑等直接影響器件的精度，是重點(diǎn)把控的參數(shù)。因此，建立一套精確、高效且無損的三維形貌量化檢測(cè)體系，是保障其性能與可靠性的核心環(huán)節(jié)，也是行業(yè)制造與品控中持續(xù)關(guān)注的關(guān)鍵課題。

傳統(tǒng)測(cè)量方法的局限性

探針式輪廓儀：

● 依賴金剛石觸針與被測(cè)表面物理接觸，對(duì)微透鏡表面材料造成劃痕、壓痕等損傷

● 僅可基于線輪廓測(cè)量，無法重建微透鏡陣列的三維全場(chǎng)形貌

● 點(diǎn)接觸掃描測(cè)量，效率低，不適合量產(chǎn)抽檢或全檢節(jié)奏

普通光學(xué)顯微鏡：

● 對(duì)玻璃、石英等透明襯底的微透鏡陣列測(cè)量效果差，邊緣識(shí)別困難

● 對(duì)微透鏡的頂點(diǎn)高度、凹陷深度等核心參數(shù)信息無法獲取

不同測(cè)量技術(shù)對(duì)比：為何白光干涉更優(yōu)秀

微透鏡陣列的測(cè)量難點(diǎn)集中于透明襯底、光滑曲面、邊緣大角度、全陣列均勻性四大特征。不同光學(xué)測(cè)量技術(shù)因物理原理差異，在上述場(chǎng)景中表現(xiàn)迥異。

測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)：不止于觀察形貌，更是精準(zhǔn)數(shù)據(jù)獲取

粗糙度RMS重復(fù)性達(dá)0.008nm，可清晰解析單枚微透鏡的高精度形貌數(shù)據(jù)。

實(shí)測(cè)案例：

微透鏡樣品三維形貌圖

測(cè)試結(jié)果報(bào)告輸出

適配大高度差微結(jié)構(gòu)測(cè)量，可清晰捕捉高落差區(qū)域形貌細(xì)節(jié)，穩(wěn)定還原大高度差樣品的三維輪廓與關(guān)鍵特征。

光刻膠樣品三維形貌圖

測(cè)試結(jié)果報(bào)告輸出

微透鏡陣列全檢

MV-1000/7000搭載的自動(dòng)分析模塊可以直接求解Sq、ROC等相關(guān)參數(shù)，做到批量自動(dòng)化測(cè)量并生成標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試報(bào)告，滿足不同場(chǎng)景下的數(shù)據(jù)呈現(xiàn)與歸檔需求。

實(shí)測(cè)案例：

微透鏡陣列樣品局部圖

測(cè)試結(jié)果報(bào)告輸出

灰度光刻制備微透鏡陣列

微透鏡陣列的高性能實(shí)現(xiàn)，既需要精準(zhǔn)的品控檢測(cè)技術(shù)，也離不開與之匹配的高精度制造工藝。托托科技的無掩模紫外光刻設(shè)備，憑借可達(dá)4096階的灰度光刻技術(shù)，能通過精準(zhǔn)調(diào)控曝光劑量，輕松實(shí)現(xiàn)規(guī)則周期排列的精密微透鏡陣列加工。

灰度光刻工藝制備的微透鏡單元及陣列SEM形貌圖

托托科技產(chǎn)品矩陣

Miracle View 系列 白光干涉顯微鏡

● 為超精密測(cè)量而生，表面粗糙度重復(fù)精度高達(dá)0.008nm

● Z向測(cè)量精度可達(dá)1nm，精準(zhǔn)還原微觀深度輪廓

● 單次掃描范圍10mm，搭配不同放大倍率鏡頭可同時(shí)掌握整體和局部形狀

Miracle Vision 系列 三合一顯微工作站

● 結(jié)合白光干涉、景深融合、共聚焦等不同測(cè)量技術(shù)，兼顧2D/2.5D/3D測(cè)量維度

● 納米結(jié)構(gòu)、微米臺(tái)階、宏觀紋理，一套系統(tǒng)全尺度覆蓋

● 同視野跨模態(tài)測(cè)量，消除搬運(yùn)誤差，全景檢測(cè)速度大幅提升

托托科技的精密光學(xué)測(cè)量技術(shù)，可為微透鏡陣列的研發(fā)與生產(chǎn)質(zhì)量控制提供了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化、數(shù)據(jù)化的解決方案。它不僅僅是一臺(tái)測(cè)量?jī)x器，更是貫穿于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝優(yōu)化、來料檢驗(yàn)、成品品控全流程的關(guān)鍵工具。

在AR/VR、激光雷達(dá)、車載傳感、微型投影等前沿領(lǐng)域?qū)鈱W(xué)系統(tǒng)要求日趨嚴(yán)苛的今天，擁有對(duì)微納結(jié)構(gòu)“看得清、測(cè)得準(zhǔn)”的能力，已成為推動(dòng)光學(xué)創(chuàng)新與保障產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的核心環(huán)節(jié)。選擇合適的計(jì)量方案，正是邁向更高精度與可靠性的堅(jiān)實(shí)一步。

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