光刻膠是目前半導(dǎo)體行業(yè)重要的功能性材料。光刻膠可以根據(jù)其 主要單體的類型進(jìn)行分類，對(duì)單體的識(shí)別可以快速判定其類型。 除單體外，影響其應(yīng)用性質(zhì)的成分還包括溶劑、引發(fā)劑、光感劑 等，通常來說這些成分會(huì)隨膠乳的應(yīng)用場(chǎng)景變化而有所調(diào)整。珀金埃爾默公司的熱重-紅外-氣質(zhì)聯(lián)用三聯(lián)機(jī)，可以針對(duì)這類稍復(fù) 雜樣品進(jìn)行準(zhǔn)確的成分識(shí)別，從而評(píng)估其光化學(xué)特性及應(yīng)用場(chǎng) 景，并針對(duì)一些逆向相關(guān)的工程應(yīng)用提供數(shù)據(jù)性的支持。
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