徠卡研究級智能型12寸半導(dǎo)體檢查顯微鏡DM12000M

用于12寸精密的觀察和復(fù)檢系統(tǒng) Leica DM12000 M

研究級智能型12寸半導(dǎo)體檢查顯微鏡DM12000M全新的光學(xué)設(shè)計,可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式) 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。

該機(jī)照明基于*新的LED科技，一體化整合在顯微鏡機(jī)身上。 低熱輻射效應(yīng)和一體化內(nèi)置技術(shù)確保了顯微鏡四周空間具有理想化的空氣環(huán)流。LED的超長使用壽命和低能耗特性大大降低了用戶今后的使用成本.。

只要一指按鍵
您就可以切換放大倍率, 照明模式或相襯模式。

徠卡 DM12000M大型半導(dǎo)體檢查顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、更大的視野，更快的檢驗(yàn)：視野擴(kuò)大四倍以上

Leica DM8000 M 和 Leica DM12000 M 帶有內(nèi)置的宏觀模式，鏡下視野可以達(dá)到傳統(tǒng)掃描物鏡的 4 倍?？吹礁嘁簿鸵馕吨斓墓ぷ?/span>效率。

2、極限分辨率：從每個角度觀察，均可達(dá)到分辨率

全新的傾斜紫外模式 (OUV)
在紫外光基礎(chǔ)上結(jié)合了傾斜光設(shè)計理念，確保您可以從任何角度都得到可見物理光學(xué)的極限分辨率。

3、人機(jī)工程學(xué)設(shè)計：得益于更人性化的高質(zhì)量設(shè)計

人性化設(shè)計可以讓用戶舒適地工作，從而提高工作績效，大大改善工作質(zhì)量。非常適合長時間在顯微鏡上工作, 直觀操作適應(yīng)任何程度的使用者。

Leica DM8000 M/DM12000 M 專門針對長時間使用顯微鏡者在設(shè)計上提高了舒適性，操作

直觀，便于根據(jù)不同用戶的顯微鏡使用技能水平進(jìn)行調(diào)整。

4、LED 照明: 讓使用環(huán)境更清潔

Leica DM8000 M/DM12000 M 內(nèi)置的 LED 照明改善了氣流，有助于形成一個更清潔的潔凈間。因?yàn)槭褂脡勖L和耗電量低，LED 的擁有成本也較低。

5、從宏觀到微觀：讓缺陷無處遁形

大 4 倍的視野：為了檢測宏觀缺陷，Leica DM8000 M 和 DM12000 M 帶有可以

快速掃描大樣品的微觀/宏觀模式。宏觀放大功能可以攝取約 40 mm 的視野 ―幾乎比傳統(tǒng)掃描物鏡大 4 倍。在極短的時間里就可以對整個掃描區(qū)域進(jìn)行精確的缺陷掃描。

通過按鍵改變您的觀察：如果您想更近距離地觀察，只需按下一個鍵，從宏觀模式切換到微觀模式而且可以選擇暗場、明場或微分干涉相襯觀察缺陷。按下另一個鍵可以切換至分辨率更高的 UV 模式或帶來全新視覺體驗(yàn)的 OUV 模式。節(jié)省寶貴的時間。

                            宏觀 

                         20倍微觀

6、新的相襯技術(shù)帶來超高分辨率

斜射照明是觀察邊角或芯片的工具，而紫外線對于 獲得更高分辨率是非常有用的。獨(dú)特的 OUV 模式組合了這兩種技術(shù)。從各個側(cè)面、用 3D 和高分辨率觀察樣品。

深度暗場相襯深度暗場相襯顯示了比傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)多得多的樣品細(xì)節(jié)。而且較大的工作距離還可以保護(hù)樣品在檢驗(yàn)過程中不會由于大意而受到損壞。

                       深度暗場20X物鏡 

                       微分干涉20X物鏡