TAZMO Co., Ltd.開發(fā)，制造和銷售半導(dǎo)體制造設(shè)備，清潔傳輸系統(tǒng)，LCD制造設(shè)備，UV激光設(shè)備電鍍設(shè)備,模具樹脂成型，PCB的電鍍/電路形成設(shè)備

日本TAZMO高清潔傳送系統(tǒng) 一般環(huán)境用搬運機(jī)器人，以無導(dǎo)軌方式對應(yīng)3FOUP，通過替換裝置，實現(xiàn)了晶圓的高速替換，可以有償選擇映射傳感器。R.T與Z軸可分離的構(gòu)造,讓日常的保養(yǎng)更簡單?？梢詫?yīng)大行程的升降高度。提升機(jī)械臂的剛性，也為您準(zhǔn)備了傳送450mm晶圓的機(jī)型。

適用對象

φ100mm ~中300mmSEMI/JEITA規(guī)格晶片

伺服馬達(dá)

Servo motor

般環(huán)境 用搬運機(jī)器人

Atmospheric Robot

本產(chǎn)品是對應(yīng)Wafer的搬送Robot。

實現(xiàn)高速搬送、高潔凈度的TAZMO搬送Robot中的旗艦機(jī)型。

This transfer robot handles wafer.

This high-speed, ultra clean robot are the flagship model in Tazmo line.

半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備

我司開發(fā)的涂布，顯影設(shè)備以積累多年的專業(yè)知識以及生產(chǎn)技術(shù)贏得了來自世界各地客戶的高度評價。

除此之外，我們還提供貼合，剝離，清潔，再生設(shè)備以及相關(guān)化學(xué)藥品供應(yīng)等多樣的產(chǎn)品線。

TAZMO將竭力為客戶提供各種創(chuàng)新型解決方案。

納米壓印技術(shù)

我們將根據(jù)我們在行業(yè)中培養(yǎng)的經(jīng)驗，豐富的專業(yè)知識和設(shè)備業(yè)務(wù)進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。另外，我們還提供一個整套解決方案，涵蓋從光學(xué)模擬到模具制造，蝕刻和檢查的整套方案。我們將對應(yīng)各種途徑進(jìn)行開發(fā)以滿足不斷變化的需求。

FPD制造設(shè)備

我司開發(fā)制作的各種平板制造設(shè)備被廣泛用于液晶顯示器制造領(lǐng)域。其中，用于液晶彩色濾光片的狹縫涂布裝置通過對納米級薄膜涂層的實現(xiàn)，在國際市場上獲得了確立了TAZMO的行業(yè)地位。

高清潔傳送系統(tǒng)

以準(zhǔn)確，高速的設(shè)計理念為基礎(chǔ)，我們正不斷地推進(jìn)對運輸系統(tǒng)所需空間的縮減。其中，我司開發(fā)的晶圓輸送機(jī)器人在實現(xiàn)高吞吐量和高精度運輸?shù)那疤嵯?，能夠提供?yōu)秀的運行穩(wěn)定性以及較長的免維護(hù)期限。

通過滿足客戶的多樣的機(jī)能需求，亦使得TAZMO獲得了業(yè)界的高度評價

TAZMO高清潔傳送系統(tǒng)一般環(huán)境用搬運機(jī)器人MTE系列，本產(chǎn)品是對應(yīng)直徑300mm晶圓的智能傳送機(jī)器人

一般環(huán)境用搬運機(jī)器人MTSR系列，本產(chǎn)品是對應(yīng)φ300mm晶圓的智能搬運機(jī)器人

一般環(huán)境用搬運機(jī)器人PLP對應(yīng)，角基盤 300 ~ 650mm

一般環(huán)境用搬運機(jī)器人TT301A系列，本制品是應(yīng)對EFEM開發(fā)的低價格，高性能智能傳送機(jī)器人

真空機(jī)器人MTP系列，適用高真空高真空機(jī)器人MTP-BB3-2

實現(xiàn)了低震動.低噪音，可以支持次世代半導(dǎo)體制造裝置。

預(yù)對準(zhǔn)校正機(jī)MAF-R系列，支持高速化合物，玻璃制品背面吸附方式MAF-RAPN

本制品采用非接觸方式，可高速調(diào)整晶圓的定向平面及中心定位。

預(yù)對準(zhǔn)校正機(jī)MAF-S系列，支持高速化合物，玻璃制品邊緣保持式MAF-SHKZ采用不接觸背面方式，將晶圓的顆粒物污染控制在最小。

款適用φ300mm晶圓的機(jī)械嵌校準(zhǔn)器。