Kanomax 超小型粒子計(jì)數(shù)器 3950-00：半導(dǎo)體行業(yè)的 "納米級(jí)環(huán)境衛(wèi)士"

產(chǎn)品定位與核心功能

日本加野3950-00塵埃粒子計(jì)數(shù)器是一款專為半導(dǎo)體制造和高潔凈度環(huán)境設(shè)計(jì)的超小型激光粒子計(jì)數(shù)器，能同時(shí)精確測(cè)量 0.1μm 和 0.3μm 兩種粒徑的懸浮粒子濃度，具有超緊湊體積和輕量化設(shè)計(jì)，可作為傳感器直接嵌入生產(chǎn)設(shè)備，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體工藝環(huán)境中的微污染，是確保芯片良率和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵檢測(cè)工具。

技術(shù)規(guī)格與性能參數(shù)

參數(shù)類別詳細(xì)規(guī)格

測(cè)量粒徑雙通道同步測(cè)量：0.1μm 和 0.3μm

采樣流量2.83L/min (0.1CFM)，精度 ±5%，符合 ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)

可測(cè)濃度10,000,000 particles/m3 (10% 重合損失時(shí))

計(jì)數(shù)效率0.1μm 粒子：50±20%

0.2μm 及以上粒子：100±10%

顯示系統(tǒng)4.3 英寸彩色液晶觸摸屏，操作直觀便捷

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)10,000 組測(cè)量數(shù)據(jù)，CSV 格式

通信接口USB(Host/Device)、Ethernet、RS485(MODBUS)

電源AC 100~240V 適配器 

外形尺寸W150×H163×D228mm (約 6×2.5×9 英寸)

重量僅 3.4kg (7.5 磅)，比同類產(chǎn)品輕 40% 以上

使用環(huán)境15~35℃，0~85% RH (無(wú)結(jié)露)

革命性設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1. 小型化與輕量化

體積比傳統(tǒng)粒子計(jì)數(shù)器縮小 60%，重量減輕 50%

行業(yè)可直接嵌入半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)工藝點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)控

緊湊設(shè)計(jì)不占用潔凈室寶貴空間，便于移動(dòng)測(cè)量

2. 高靈敏度與精準(zhǔn)測(cè)量

0.1μm 級(jí)檢測(cè)能力，專為半導(dǎo)體工藝 (14nm/7nm/5nm) 設(shè)計(jì)

光散射測(cè)量原理，粒徑分辨率≤15%，重復(fù)性誤差≤5%

偽計(jì)數(shù)率 < 1 個(gè) / 35 分鐘，確保數(shù)據(jù)可靠性

3. 多功能智能操作

4.3 英寸觸控屏，支持中英文顯示

多種測(cè)量模式：?jiǎn)未?、重?fù) (1~999 次)、連續(xù)、計(jì)算

99 個(gè)地點(diǎn)標(biāo)記功能，便于潔凈室網(wǎng)格化監(jiān)測(cè)

數(shù)據(jù)可直接導(dǎo)出至 PC、打印機(jī)或 USB 存儲(chǔ)設(shè)備

工作原理

采用激光散射技術(shù)：

內(nèi)置高精度泵以 2.83L/min 恒定流量抽取空氣樣本

空氣通過(guò)采樣口進(jìn)入測(cè)量腔，激光束照射通過(guò)的粒子

粒子產(chǎn)生散射光，光電傳感器捕捉并轉(zhuǎn)換為電脈沖

信號(hào)處理系統(tǒng)分析脈沖參數(shù)，區(qū)分 0.1μm 和 0.3μm 粒子

微處理器計(jì)算單位體積內(nèi)各粒徑粒子濃度并顯示

日本加野3950-00超小型粒子計(jì)數(shù)器核心應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體芯片制造（主要應(yīng)用領(lǐng)域）

光刻工藝：監(jiān)測(cè)曝光環(huán)境中的超微粒子，防止晶圓缺陷

刻蝕 / 沉積：設(shè)備內(nèi)部粒子監(jiān)控，確保薄膜均勻性

潔凈室認(rèn)證：ISO Class 1~6 級(jí)環(huán)境的合規(guī)性測(cè)試

設(shè)備集成：直接嵌入半導(dǎo)體生產(chǎn)裝備，實(shí)現(xiàn) "原位" 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

2. 其他高精密制造

平板顯示：OLED/QLED 面板生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)控

光學(xué)儀器：鏡頭鍍膜、精密光學(xué)元件制造

醫(yī)療器械：植入物和精密器械無(wú)菌生產(chǎn)環(huán)境

3. 科研與質(zhì)量控制

高校 / 研究所超凈實(shí)驗(yàn)室監(jiān)測(cè)

新材料研發(fā)環(huán)境評(píng)估

電子元器件生產(chǎn)過(guò)程控制

日本加野3950-00塵埃粒子計(jì)數(shù)器與其他型號(hào)對(duì)比（簡(jiǎn)版）

特性3950-003887Lite/Pro3905/3910 系列

測(cè)量粒徑0.1μm、0.3μm (2 通道)0.3-5μm (5 通道)0.5-10μm (6 通道)

體積重量最小最輕 (3.4kg)中等 (約 500g)較大 (約 8kg)

主要優(yōu)勢(shì)超小型化可嵌入設(shè)備多功能便攜測(cè)量多粒徑全面分析

適用場(chǎng)景半導(dǎo)體設(shè)備集成、超凈環(huán)境潔凈室常規(guī)監(jiān)測(cè)、制藥一般工業(yè)、大型潔凈室