神崎優(yōu)選ULVAC愛(ài)發(fā)科搖動(dòng)活塞型干泵
神崎優(yōu)選ULVAC愛(ài)發(fā)科搖動(dòng)活塞型干泵

日本ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是的真空技術(shù)與薄膜沉積設(shè)備制造商，專注于為半導(dǎo)體、平板顯示、新能源、科研及制造等領(lǐng)域提供高精度、高可靠性的核心設(shè)備與系統(tǒng)解決方案。

?核心產(chǎn)品線與技術(shù)用途?

?1. 真空泵系統(tǒng)?

ULVAC提供全系列真空泵，覆蓋從粗真空到高真空的完整壓力范圍，廣泛用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空鍍膜等場(chǎng)景：

• ?油旋片式真空泵?：如GLD-N137、GLD-N202系列，具備低噪音（<74 dB）、低震動(dòng)特性，適用于半導(dǎo)體鍍膜、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)，支持24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行。

• ?干式真空泵?：如DA-40S膜片泵，無(wú)油設(shè)計(jì)避免污染，適用于高純度工藝環(huán)境，如電子元件制造與醫(yī)藥包裝。

• ?分子泵與低溫泵?：用于超高真空環(huán)境（10?? Pa以下），支撐電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等精密分析設(shè)備。

?2. 物理氣相沉積（PVD）設(shè)備?

ULVAC的PVD系統(tǒng)是半導(dǎo)體與光學(xué)鍍膜領(lǐng)域的核心技術(shù)平臺(tái)：

• ?濺射鍍膜系統(tǒng)?：如SRH-420Z、SME-200U，支持金屬、合金、氧化物靶材的均勻沉積，用于IC互連層、透明導(dǎo)電膜（ITO）、太陽(yáng)能電池電極。

• ?電子束蒸鍍系統(tǒng)（EB Evaporation）?：如EGO/EGK系列電子槍，可蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料（如Al?O?、Ta、W），實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度薄膜，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片AR涂層、裝飾鍍膜與半導(dǎo)體電極制備。

?3. 化學(xué)氣相沉積（CVD）與等離子體設(shè)備?

• ?PECVD系統(tǒng)?：用于沉積SiO?、SiN?等絕緣介質(zhì)層，是邏輯芯片與存儲(chǔ)器制造的關(guān)鍵步驟。

• ?高頻電源系統(tǒng)（RF Power）?：如RMG-1303集成式射頻電源，專為絕緣靶材濺射設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定等離子體控制，提升薄膜均勻性與良率。

?4. 半導(dǎo)體制程平臺(tái)?

• ?ENTRON-EXX多腔沉積系統(tǒng)?：面向3nm及以下邏輯芯片、DRAM、NAND存儲(chǔ)器量產(chǎn)需求，支持最多12個(gè)模塊靈活組合（PVD、預(yù)清洗、加熱/冷卻），實(shí)現(xiàn)高吞吐量與工藝集成，是制程產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。

?5. 其他關(guān)鍵設(shè)備與解決方案?

• ?真空分析儀器?：如飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS），用于薄膜成分深度剖析。

• ?受托加工服務(wù)?：為FPD與半導(dǎo)體客戶提供濺射靶材、腔體、掩膜板等精密部件的機(jī)加工與表面處理。

• ?環(huán)保技術(shù)整合?：富士裾野工廠已實(shí)現(xiàn)100%可再生能源供電，推動(dòng)綠色制造。

?主要應(yīng)用領(lǐng)域?