osakavacuum大阪真空   磁軸承復合分子泵

 osakavacuum大阪真空   磁軸承復合分子泵

　→可實現(xiàn)低真空啟動和連續(xù)低真空運行

■您可以選擇與負載條件相匹配的電機

　→ 降低設備成本和提高運營效率可節(jié)省成本

■多種泵速可供選擇

　→ 90 至 12,000立方米/小時

■與輔助泵的各種組合

　→羅茨式+油旋轉(zhuǎn)/液封型

目的

?半導體、FPD

?薄膜涂層

?金屬、鋼鐵、工業(yè)設備

?醫(yī)療、化工、制藥、食品

?研發(fā)

規(guī)格

外部尺寸

進氣法蘭80A JIS B2290VF

額定排氣速度*1  （立方米/小時）50赫茲 250

60赫茲 300

允許壓差（kPa）

[使用標準電機時]50赫茲 9.3

60赫茲 8

測試壓力（Pa）單級RP型后備泵7× 10

輔助泵 2 級 RP1.3× 10-2

備用泵標準抽水速度（立方米/小時）

36至100

轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分鐘）50赫茲3000

60赫茲3600

標準電機輸出功率（kW）1.5

油量（升）0.9

冷卻方法空冷式

質(zhì)量（千克）全封閉風冷式室內(nèi)電機110

無電機80

*1：有效泵速取決于輔助泵。我們的銷售代表。

*2：冷卻水溫度為30℃。

運行環(huán)境溫度：+10℃至+40℃；儲存環(huán)境溫度：-5℃至+60℃。

為防止結(jié)冰，儲存前請排空冷卻水。