osakavacuum大阪真空  柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵

osakavacuum大阪真空  柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵

■強(qiáng)旋轉(zhuǎn)軸

　→可實(shí)現(xiàn)低真空啟動(dòng)和連續(xù)低真空運(yùn)行

■您可以選擇與負(fù)載條件相匹配的電機(jī)

　→ 降低設(shè)備成本和提高運(yùn)營(yíng)效率可節(jié)省成本

■多種泵速可供選擇

　→ 90 至 12,000立方米/小時(shí)

■與輔助泵的各種組合

　→羅茨式+油旋轉(zhuǎn)/液封型

目的

?半導(dǎo)體、FPD

?薄膜涂層

?金屬、鋼鐵、工業(yè)設(shè)備

?醫(yī)療、化工、制藥、食品

?研發(fā)

規(guī)格

外部尺寸

進(jìn)氣法蘭80A JIS B2290VF

額定排氣速度*1  （立方米/小時(shí)）50赫茲 250

60赫茲 300

允許壓差（kPa）

[使用標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)時(shí)]50赫茲 9.3

60赫茲 8

測(cè)試壓力（Pa）單級(jí)RP型后備泵7× 10

輔助泵 2 級(jí) RP1.3× 10-2

備用泵標(biāo)準(zhǔn)抽水速度（立方米/小時(shí)）

36至100

轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分鐘）50赫茲3000

60赫茲3600

標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)輸出功率（kW）1.5

油量（升）0.9

冷卻方法空冷式

質(zhì)量（千克）全封閉風(fēng)冷式室內(nèi)電機(jī)110

無(wú)電機(jī)80

*1：有效泵速取決于輔助泵。我們的銷(xiāo)售代表。

*2：冷卻水溫度為30℃。

運(yùn)行環(huán)境溫度：+10℃至+40℃；儲(chǔ)存環(huán)境溫度：-5℃至+60℃。

為防止結(jié)冰，儲(chǔ)存前請(qǐng)排空冷卻水。