空壓蛇腹式泵（F-APB）

利用氣缸驅(qū)動的蛇腹式幫浦。

使用流體：光阻劑、純水、化學品（可燃物質(zhì)不可）

高精度定量吐出ポンプシリ-ズHigh-Precision Constant Dispensing Pump Series

コガネイ製ポンプシリ-ズの特長

·接液部がフッ素樹脂で構成されており、様々な薬液に対応可能です。

·接液部が摺動部のない構造で、パ-ティクルの発生がほとんどありません。

·日常的なメンテナンスが不要で、高い繰返し精度を維持した定量吐出が可能です。

Features of Koganei Pump Series

The liquid contact area is composed of fluorine resin, and is resistant to various liquidchemicals.

The liquid contact area is structured without a slide portion, to virtually avoidgeneration of particles.

Daily maintenance is unnecessary, enabling constant dispensing maintained at highrepeatability of dispensing volume.

ポンプバリエ-ション

コガネイのポンプは半導體製造工程をはじめ、FPD、電池、試薬などで広くお使いいただいています。

駆動方式やポンプタイプなどからお客様の用途やご使用のワ-クに合ったポンプなお選ひいただけます。

Pump Product Range

Koganei pumps are widely used in semiconductor manufacturing processes, as well as for flatpanel displays (FPDs), batteries, and reagents, etc.Select pumps from operating type or pump type that suit the applications or workpieces used by

customers.