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當前位置：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司>>美國Entegris>>氣體過濾器>> Wafergard® MAX HT美國Entegris 在線氣體過濾器 寧波
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號Wafergard® MAX HT
品 牌Entegris
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時間：2026-02-25 13:12:28瀏覽次數(shù)：224次
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1千-1萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣 |
美國Entegris 在線氣體過濾器 寧波
美國Entegris 在線氣體過濾器 寧波
Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器 適用于高溫、超純氣體應用的顆粒過濾。
專為高溫 TEOS 和高達 200°C （392°F） 的高 k 應用而設計 整體設計 （148 mm [5.82“]） 是類似過濾器的直接替代品，緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng)，并提供設計靈活性和多功能性
特殊烘烤可實現(xiàn)快速氣體輸送啟動，，低壓差提供穩(wěn)定和改進的材料輸送
應用Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器應用用于 CVD 工具的使用點過濾器
TEOS 和高 k 等高溫應用 熱 N2應用
產(chǎn)品規(guī)格 材料 膜 聚四氟乙烯 支持 PFA 系列 外殼 316L 不銹鋼
去除顆粒等級 ≥0.0015 微米 顆粒截留 ≥99.9999999% @ 25°C （77°F）
初始下游清潔度 大于 0.01 μm 的 ≤0.03 個顆粒/升 內(nèi)表面光潔度 ≤7 μin Ra （Ra <0.17 μm）
連接 1/2“ 密封外螺紋墊圈（兼容 VCR）®
工作條件
最大工作壓力 0.99 MPa （9.9 bar;143.15 psig） @ 0° 至 200°C（0° 至 392°F）
最大正向壓差 0.70 MPa （7 bar;101.5 psid） @ 0° 至 40°C （0° 至 104°F）
0.08 MPa （0.8 bar;11.6 psid） @ 200°C （392°F） 最高工作溫度 200°C （392°F） 惰性氣體
氦氣泄漏等級 <1 x 10-10帕米3/秒 流量等級 請參閱性能數(shù)據(jù)
Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器零件編號
零件編號 長度
WGMXMPRR4HT 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPRR4HTL 148 毫米(5.83 英寸)
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