中村庫存高精度三次元坐標量測MITUTOYO三豐

適配半導體、精密模具等微米級測量需求。采用結晶化玻璃光柵尺，分辨率達 0.02μm，初項精度 0.7μm，18-22℃環(huán)境下主動溫度補償保障穩(wěn)定精度。高剛性框架配空氣軸承，3 軸加速度 2598mm/s2，掃描速度 3mm/s，支持多測頭切換與 5 軸聯(lián)動掃描。搭載 M - Apex 系統(tǒng)，實現(xiàn)智能路徑規(guī)劃與數(shù)據(jù)追溯，助力精密制造高效質檢。

中村庫存高精度三次元坐標量測MITUTOYO三豐

是面向半導體、精密模具等微米級測量場景的旗艦級 CNC 三次元坐標測量儀，憑借超高精度、高速驅動與智能系統(tǒng)，適配精密制造全流程的嚴苛質檢需求，助力企業(yè)實現(xiàn)高效精準的質量管控。

核心硬件與精度保障

儀器采用結晶化玻璃光柵尺，X/Y/Z 軸分辨率達 0.02μm，搭配高性能反射式線性編碼器，初項精度達 0.7μm，幾何精度穩(wěn)定性達 0.8μm/m。內(nèi)置 32 個溫度傳感器，在 18-22℃環(huán)境下通過主動溫度補償算法，將溫度影響控制在 ±1.5μm/°C 內(nèi)，有效抵消環(huán)境溫度波動對測量結果的干擾。機身采用 STRATO 高剛性框架結構與三點支撐設計，搭配自動調(diào)平空氣彈簧減震單元，可減少地面振動影響，保障高速運動時的測量穩(wěn)定性。3 軸加速度達 2598mm/s2，驅動速度519mm/s，掃描速度 3mm/s，兼顧測量效率與數(shù)據(jù)精準度。

智能系統(tǒng)與測量適配

搭載 M - Apex 智能控制系統(tǒng)，支持 5 軸聯(lián)動掃描，具備實時誤差補償、自適應路徑規(guī)劃與智能碰撞防護功能，系統(tǒng)響應速度較上一代提升 40%，測量效率提高 35%。UC480 控制器支持接觸式、非接觸式激光測頭、視覺測頭等多傳感器自由切換，適配不同材質、形狀工件的測量需求，如微小電子元件用視覺測頭、模具曲面用掃描測頭，混合測量模式可使效率提升 50% 以上。同時，集成 MeasurLink 數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，可實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)的實時采集、可視化呈現(xiàn)與全程追溯，適配智能工廠數(shù)字化管理需求。

型號規(guī)格與應用場景

該系列型號豐富，包括 574、776、9106、9108 等，測量行程覆蓋 500mm×700mm×400mm 至 900mm×1000mm×800mm 等多種規(guī)格，工作臺承重適配不同尺寸工件，滿足從微小半導體封裝件到大型精密機械部件的測量需求。實際應用中，可用于航空航天葉片、汽車發(fā)動機精密零件、半導體晶圓等產(chǎn)品的尺寸、形位公差檢測，也能配合自動化生產(chǎn)線實現(xiàn)在線檢測，快速識別生產(chǎn)過程中的質量問題，減少不良品流出，提升整體生產(chǎn)效益。