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日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統(tǒng)
在真空中，由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分，靜電問題比大氣環(huán)境更為嚴重，成為更為嚴重的生產(chǎn)障礙。微波等離子體去靜電處理系統(tǒng)能夠在傳統(tǒng)難以處理的高真空過程中實現(xiàn)去靜電。
日本KASUGA 春日微波等離子體除靜電系統(tǒng)

概要

在真空中，由于缺乏能夠緩解靜電的氣體成分，靜電問題比大氣環(huán)境更加嚴重，成為嚴重的生產(chǎn)障礙。普通的靜電消除器（離子發(fā)生器）同樣由于氣體成分稀薄，無法生成足夠的離子來實現(xiàn)靜電消除。

微波等離子體除靜電系統(tǒng)可以在傳統(tǒng)難以實現(xiàn)的高真空過程中進行除靜電。

測定的離子電流值即使在薄膜的輸送速度為1000m/min時也是可靜電中和的值。
除電范圍是無障礙物的情況下，也能在距離2米的地方進行除電。

日本 KASUGA 春日 MPNS-01 是一款專為真空環(huán)境打造的高-端除靜電系統(tǒng)，核心依托與 JAXA 聯(lián)合研發(fā)的離子發(fā)動機技術，將航天級微波等離子體技術成功民用化。

該系統(tǒng)突破傳統(tǒng)離子器局限，可在 10?3～10??Pa 高真空條件下穩(wěn)定生成等離子體，無需依賴壓縮空氣輸送離子，從根源避免氣流帶來的顆粒污染與壓力波動。其除電性能優(yōu)異，無障礙物時覆蓋范圍可達 2m，即便工件以 1000m/min 高速輸送仍能高效除電，離子分布均勻且無二次污染，契合精密制程的潔凈要求。

系統(tǒng)采用模塊化設計，安裝靈活且無需大幅改造原有設備，可與真空腔體控制系統(tǒng)聯(lián)動實現(xiàn)自動化同步除電。非接觸式除電方式避免工件劃傷，無易損放電電極大幅降低維護成本，廣泛適配半導體晶圓鍍膜、液晶玻璃貼合、柔性薄膜卷繞等場景，是真空制程靜電管控的高效解決方案。