LINTEC琳得科 MC-5460C 工業(yè)流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5460C 工業(yè)流量控制器

EtherCAT 質(zhì)量流量控制器

用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。

適用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器，采用 EtherCAT 通信協(xié)議。符合 SEMI 標準，可通過 EtherCAT 通信進行控制，用于提高半導(dǎo)體制造設(shè)備中輸送系統(tǒng)的速度。

它標配半導(dǎo)體制造過程中所需的金屬密封件和 Lintec 獨特的環(huán)境溫度補償流量傳感器，還可以添加與液化氣體兼容等選項。

MC-5000C

特征

精度±1%SP

金屬密封件

清潔（無顆粒）

環(huán)境溫度保證傳感器

EtherCAT 通信

選項

微流控FS

液化氣兼容

范圍廣泛

使用示例

EtherCAT通信設(shè)備的統(tǒng)一

越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信（數(shù)字接口），用于高速控制諸如機械臂之類的傳輸系統(tǒng)。EtherCAT通信擁有多達65,536個節(jié)點，因此可以將MFC測量和運動系統(tǒng)的所有元件統(tǒng)一到EtherCAT通信中。

規(guī)格

溫度

最小壓差

最大壓差

準確性

控制范圍

文件系統(tǒng)

最大 FS

海豹

15~35℃

50千帕

300千帕

±1% SP

2~100%FS

10SCCM

300SLM

奧

*規(guī)格表列出了質(zhì)量流量控制器的通用規(guī)格。 可通過選件進行更改。

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我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

SURUGA駿河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO東京計裝

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