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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>電子儀表>>控制裝置>> Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運裝置
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2026-02-02 14:15:23瀏覽次數(shù)：99次
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日本nanotech-inc實驗室二次元結(jié)晶堆疊裝置
日本Tokai Senkou混合藥液濃度連續(xù)測定裝置
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運裝置
Tateyama半導(dǎo)體芯片制造晶圓真空搬運裝置
| 序號 | 特點 | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | 隔斷 | 在外氣·微粒子隔斷的狀態(tài)下，從搬運容器（Minimal Shuttle）取出晶圓，并可向真空裝置內(nèi)搬入/搬出晶圓 |
| 2 | 超緊湊設(shè)計 | 尺寸僅 W267.5 × D114 × H378 mm，內(nèi)部集成前室、晶圓搬運機器人、真空泵、真空計、控制器所有部件 |
| 3 | 高真空能力 | 內(nèi)置牽引分子泵（Drag Molecular Pump），可將前室內(nèi)排氣至高真空（10?3 Pa） |
| 4 | 壓力切換 | 在保持前室高真空的同時，可將搬運容器內(nèi)從真空壓置換為大氣壓（或反向） |
| 5 | 高精度搬運 | 重復(fù)定位精度：±0.1mm以下 |
| 規(guī)格項目 | 詳細(xì)說明 |
|---|---|
| 晶圓搬運機器人 | 高重復(fù)定位精度；示教（Teaching）容易 |
| 自動穿梭夾具 | 標(biāo)配Auto Shuttle Clamp |
| 控制板 | 一體型控制板 |
| 高精度晶圓檢測功能 | 反射方式實現(xiàn)的高精度晶圓位置偏移檢測；可對應(yīng)透明晶圓 |
| 壓力置換機構(gòu) | Minimal Shuttle內(nèi)真空/大氣壓置換機構(gòu) |
| 認(rèn)證 | 已取得Minimal Product認(rèn)證 |
| 賣點 | 說明 |
|---|---|
| 自動穿梭夾具 | 標(biāo)配自動Shuttle Clamp |
| 一體型控制板 | 集成化控制系統(tǒng) |
| 高精度晶圓檢測 | 精準(zhǔn)檢測晶圓位置和偏移 |
| Minimal Product認(rèn)證 | 已取得Minimal Fab產(chǎn)品認(rèn)證 |
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