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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	2萬-5萬
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合

日本kaijo在線式FPD基板超聲波淋浴AD清洗機(jī)

超聲波淋浴AD清洗系統(tǒng)產(chǎn)品頁面，面向第10.5代（G10.5）及以上大尺寸FPD基板的在線式精密清洗設(shè)備：

產(chǎn)品名稱

クオーバ USシャワーAD（QUAVA US Shower AD）英文：QUAVA Ultrasonic Shower AD Cleaning System

核心規(guī)格

參數(shù)	規(guī)格
工作頻率	950 kHz（兆聲波頻段）
對(duì)應(yīng)基板尺寸	第10.5代（G10.5）及以上
處理寬度	3米（單根振子覆蓋）
清洗方式	超聲波 + 噴淋（Shower）同時(shí)清洗

主要特點(diǎn)

■ 超大寬幅單振子設(shè)計(jì)

單根3米振子即可覆蓋G10.5代基板全幅（傳統(tǒng)方案需多根拼接）
適用于大型FPD（平板顯示）基板（如OLED面板、液晶面板）的在線清洗

■ 超聲波-噴淋協(xié)同清洗

US-Shower復(fù)合清洗：兆聲波（950kHz）與純水噴淋同時(shí)進(jìn)行
零再附著：噴淋立即帶走剝離的顆粒，防止清洗下來的微粒再次附著在基板表面
超高精密清洗：實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒的去除

■ 液體接觸方式可選（AD技術(shù)）

AD（Air Dielectric/氣壓控制）技術(shù)：可選擇液體接觸方式
節(jié)水效果：相比傳統(tǒng)US-Shower系統(tǒng)，純水使用量可削減最多40%
減少運(yùn)行成本和廢水處理負(fù)荷

技術(shù)原理

普通US Shower	本設(shè)備（US Shower AD）
僅噴淋或僅超聲波	超聲波+噴淋同時(shí)作用
可能存在再污染風(fēng)險(xiǎn)	即時(shí)排液，零再附著
固定液接觸量	可調(diào)液接觸模式，節(jié)水40%

應(yīng)用領(lǐng)域

G10.5 OLED/LCD面板制造：蒸鍍前清洗、光刻后清洗
大型半導(dǎo)體晶圓：450mm晶圓清洗（如有需求）
太陽能電池板：大面積基板精密清洗

這是一款專為超大型顯示面板（G10.5代）設(shè)計(jì)的在線式兆聲波噴淋復(fù)合清洗系統(tǒng)，通過950kHz高頻超聲波與優(yōu)化噴淋的協(xié)同作用，在節(jié)水40%的同時(shí)實(shí)現(xiàn)無再附著的高精密清洗，是下一代大尺寸面板制造線的核心清洗設(shè)備。

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產(chǎn)品名稱

核心規(guī)格

主要特點(diǎn)

■ 超大寬幅單振子設(shè)計(jì)

■ 超聲波-噴淋協(xié)同清洗

■ 液體接觸方式可選（AD技術(shù)）

技術(shù)原理

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■ 超聲波-噴淋協(xié)同清洗

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