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產(chǎn)品型號HVFTV8MML175A

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更新時間：2025-12-29 11:11:19瀏覽次數(shù)：125次

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產(chǎn)品分類品牌分類

儀器設(shè)備: 分級機食品干燥器球閥擠出機膜片成形機測厚儀礱谷機栽培機車速表鉆孔機砂輪抗菌錘過濾器噴嘴濁度計

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

應用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合

韓國PlayTG高純度工藝加熱型蒸汽在線過濾器
在高溫段對工藝蒸汽進行 9-log（99.9999999%）級超微顆粒過濾，同時保持氣體溫度，防止冷凝與再次污染。
目標市場：半導體、顯示、光伏及高純化學品制程中需要熱蒸汽在線過濾的環(huán)節(jié)（如擴散、外延、ALD、CVD 等）。

詳情介紹

韓國PlayTG高純度工藝加熱型蒸汽在線過濾器
韓國PlayTG高純度工藝加熱型蒸汽在線過濾器

HVFT（Heating Vapor Filter）（加熱型蒸汽過濾器）
功能：在高溫段對工藝蒸汽進行 9-log（99.9999999%）級超微顆粒過濾，同時保持氣體溫度，防止冷凝與再次污染。
目標市場：半導體、顯示、光伏及高純化學品制程中需要熱蒸汽在線過濾的環(huán)節(jié)（如擴散、外延、ALD、CVD 等）。

2. 核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

過濾介質(zhì)：PTFE 或多層 PTFE/全氟材質(zhì)濾芯，孔徑等級 0.003 µm 起。
熱殼體：PFA/不銹鋼電鍍或拋光，內(nèi)置電加熱套/筒式加熱器；保溫層外包硅膠或氣凝膠。
密封件：全氟彈性體（FFKM）O-ring，金屬離子析出 < 1 ppb。
接口：3/4″、1″ 法蘭或 VCR 面密封，在線可換裝濾芯（側(cè)入或底入設(shè)計）。

3. 主要性能指標（行業(yè)通用范圍，供參考）

項目	典型值
工作溫度	180 – 200 ℃（加熱器 PID 控溫）
工作壓力	7 bar (100 psig)
額定流量	50 – 100 slpm（依接口尺寸）
過濾效率	≥ 9-log（@0.003 µm）
壓損 @ 50 slpm	0.2 – 0.4 bar（清潔濾芯）
加熱功率	200 – 500 W，24 V/AC 可選
溫控精度	±1 ℃（PT100 傳感器）

4. 應用節(jié)點舉例

Diffusion / Anneal：高溫 N?/O?/H? 蒸汽過濾，避免爐管顆粒污染。
ALD 前驅(qū)體輸送：對加熱的 H?O、NH?、TEMAH 等蒸汽進行在線凈化。
OLED / LCD 濕法刻蝕：高溫有機胺或水蒸氣過濾，減少 micro-defect。
太陽能擴散爐：POCl? 或 BBr? 高溫載氣過濾，提升結(jié)均勻性。

5. 優(yōu)勢與維護

在線加熱：殼體恒溫，蒸汽不冷凝，顆粒不會因液滴二次攜帶。
側(cè)端蓋結(jié)構(gòu)：可在設(shè)備待機降溫段快速換芯，縮短 MTTR。
低金屬/低顆粒析出：滿足 SEMI F57 / F40 超純化學兼容要求。
可選智能模塊：RS-485/4-20 mA 溫度與壓差遠程監(jiān)控，接入廠務 FDC 系統(tǒng)。

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