原裝 現(xiàn)貨ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵
原裝 現(xiàn)貨ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵
安裝方向自由
安裝方向沒(méi)有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類(lèi)型的吸氣口法蘭可供選擇。清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/span>用途
分析設(shè)備、研究開(kāi)發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
規(guī)格
| 型號(hào) | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵體 | 冷卻方式 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | ||
| 法蘭口徑 | 吸氣口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排氣口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排氣速度 (無(wú)防護(hù)網(wǎng)時(shí)) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到達(dá)壓力 *2 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | |||
| 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | |||||
| 最大壓縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸氣口壓力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排氣口壓力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn) 最大流量 *8 | 無(wú)排放 氣體 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 無(wú)排放 氣體 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 有排放 氣體 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
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