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什么是半導(dǎo)體工廠用的燈?
半導(dǎo)體工廠燈指的是半導(dǎo)體工廠中使用光敏材料的照明燈。 許多燈光會(huì)發(fā)出黃色光,因此也被稱為黃色燈。
過去使用黃色熒光燈,但現(xiàn)在主流采用波長(zhǎng)小于500納米的短波長(zhǎng)LED燈,包括紫外線。
在半導(dǎo)體制造過程中,有一種稱為“暴露"的工藝,通過照射作為半導(dǎo)體基礎(chǔ)的硅晶圓來形成電路。 當(dāng)照明的紫外線在此過程中暴露于硅晶圓時(shí),硅晶圓會(huì)退化,導(dǎo)致普通照明無法使用的問題。 在這種情況下,需要使用能截?cái)嘧贤饩€的燈具照明。
半導(dǎo)體工廠燈管的使用情況
半導(dǎo)體工廠燈主要作為半導(dǎo)體和集成電路工廠的安全燈,以及其他處理光敏材料的場(chǎng)所使用。
機(jī)械和電子行業(yè)中使用的無塵室主要通過加壓房間來防止灰塵進(jìn)入。 因此,潔凈室照明裝置設(shè)計(jì)通過電源插件的套管和螺栓固定部件來保持室內(nèi)氣密性。
在無菌室中,通過過濾器過濾的清潔空氣會(huì)朝特定方向流動(dòng)。 為了不干擾燈具的氣流,它采用流線型造型,不易阻擋空調(diào)的氣流。
截除紫外線的燈具應(yīng)用廣泛,如商店、工廠、食品工廠、漁業(yè)照明,以及文化和教育設(shè)施、游樂場(chǎng)、車輛和計(jì)算機(jī)室照明。
半導(dǎo)體工廠燈泡的原理
半導(dǎo)體工廠燈具采用濾光系統(tǒng)和選擇性波長(zhǎng)發(fā)射法。
濾光法通過在熒光管或LED上覆蓋黃色顏料層、黃色熱收縮樹脂涂層或特殊薄膜,切割波長(zhǎng)低于500納米的光,包括紫外線。
選擇性波長(zhǎng)發(fā)射法僅通過添加光來發(fā)射所需的波長(zhǎng)。 這種LED照明有望有效利用能源,提升用戶滿意度(顏色識(shí)別、工作效率和工作環(huán)境)。 由于只設(shè)定所需的波長(zhǎng),因此與傳統(tǒng)的基于濾波波長(zhǎng)切割(減法法)LED相比,能耗可以提高。
半導(dǎo)體工廠燈具的特點(diǎn)
使用LED的半導(dǎo)體工廠燈具具有許多特性。
半導(dǎo)體工廠燈使用LED,與同等產(chǎn)品性能的熒光燈相比,能將功耗降低約70%。 即使在特殊環(huán)境中,過去很難降低能耗,它也能節(jié)省大量電力。
LED燈具的使用壽命很長(zhǎng)。 與傳統(tǒng)熒光黃燈相比,其使用壽命超過4萬小時(shí),約為黃色燈的四倍。 因此,定期更換等維護(hù)費(fèi)用也很劃算。
此外,它是一種環(huán)保的燈,因?yàn)樗皇褂霉?由于亮度高,工作環(huán)境得到改善,半導(dǎo)體工廠中對(duì)雜物和異物的檢測(cè)率也有所提升。
玻璃管燈具結(jié)構(gòu)可防止玻璃碎片散射,即使燈具因外表樹脂涂層而受損。 樹脂容器的LED燈很輕,即使損壞,也安全且碎片散布較少。
半導(dǎo)體工廠燈泡類型
半導(dǎo)體工廠用熒光管黃燈是指玻璃管內(nèi)表面覆蓋黃色顏料層,外表面涂有黃色熱收縮樹脂涂層以實(shí)現(xiàn)紫外線防護(hù)。 顏料層和紫外輻射切割涂層被用作半導(dǎo)體工廠等的照明源,處理對(duì)500納米以下波長(zhǎng)敏感的光敏材料。 近年來,LED燈具正逐步被取代。
普通半導(dǎo)體工廠燈具采用黃光,但也有產(chǎn)品能改善黃色房間照明的顏色。其特征是顏色接近白色,相較于具有特定波長(zhǎng)切割的LED照明。這是一種獨(dú)特的不適感,由進(jìn)出房間時(shí)的色隙引起,采用了特殊的色彩匹配技術(shù)來減輕這種獨(dú)特不適感。這是一種具有優(yōu)異色彩還原性且對(duì)人體溫和的燈具。色溫約為3000~5000K。LED容器由聚碳酸酯和鋁材制成,不易損壞且易于維護(hù)。它可以替代潔凈室中使用的黃色燈泡。
作為特殊應(yīng)用,有具有高安全性且具防爆結(jié)構(gòu)的LED燈具。對(duì)于半導(dǎo)體工廠,LED的亮度可控制至500納米。該技術(shù)可用于使用高靈敏光敏材料如G射線和I射線的工廠。與此前通過濾光片切割波長(zhǎng)的熒光燈和黃色LED相比,能見度大大提升。
還有一種橙色LED燈。橙色型是一種短波長(zhǎng)530納米或更短的LED燈,類似于半導(dǎo)體制造廠長(zhǎng)期使用的熒光黃燈。它適用于對(duì)紫外線防護(hù)要求特別嚴(yán)格的照明設(shè)備,如半導(dǎo)體工廠、集成電路工廠和食品工廠的潔凈室,這些設(shè)備需要驅(qū)蟲劑。

