一、核心參數(shù)
| 項目 | 詳情 |
|---|
| 型號 | BAR-N40（N=NW/KF 法蘭，40=40A 口徑） |
| 品牌 | MIYUKI 美幸輝 |
| 口徑 | 40A（DN40，NW/KF 標(biāo)準(zhǔn)法蘭） |
| 工作壓力 | 10?? ~ 10? Pa（真空至正壓通用） |
| 泄漏量 | 內(nèi)部≤1×10?? Pa?m3/s；軸封≤1×10?1? Pa?m3/s |
| 接觸材質(zhì) | 氣體接觸部 SUS304；密封 / 軸封氟橡膠 O 型圈（可選全氟醚） |
| 耐熱溫度 | 閥體≤150℃；馬達(dá)≤40℃ |
| 驅(qū)動方式 | 電機直連無背隙，停電時閥門停止（無固定力） |
| 控制信號 | 支持開度控制（MS-VP）、壓力控制（MG-mini485）等 |
二、核心優(yōu)勢
低顆粒低噪：無金屬滑動部件，微小開度壓力穩(wěn)定，運行噪音極低，適配潔凈制程。
高密封性：內(nèi)外泄漏量極低，滿足真空 / 微壓、高潔凈度系統(tǒng)要求。
精準(zhǔn)控制：電機直連無背隙，全關(guān)閉狀態(tài)下可實現(xiàn)流量微調(diào)，壓力調(diào)節(jié)精度高。
結(jié)構(gòu)可靠：SUS304 閥體 + 氟橡膠密封，耐溫耐腐，適配半導(dǎo)體腔體、真空爐、光伏設(shè)備等場景。
三、應(yīng)用與采購要點
適配場景：半導(dǎo)體腔體排氣、PECVD/CVD 工藝壓力穩(wěn)定、真空系統(tǒng)流導(dǎo)調(diào)節(jié)、光伏設(shè)備氣體控制。
維護(hù)建議：定期檢查氟橡膠密封件老化，保持驅(qū)動部清潔干燥，避免超溫 / 超壓使用。
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2026.2.5
