本文介紹了株式會社 INTECS 開發(fā)的 UIH-1H 型超高亮度照明裝置。該設備利用丁達爾現(xiàn)象，專為精密光學檢測設計。其核心定位在于 “結像重視" （成像清晰度），區(qū)別于單純的高亮度照明設備。UIH-1H 的主要功能是專攻半導體拋光晶圓（Polish Wafer）的 Haze（霧度）檢測，通過獨特的光學系統(tǒng)在晶圓表面投影出3條檢查標記，使操作人員能直觀判斷表面微米級的霧狀缺陷。同時，該設備也適用于廣泛的 “半導體晶圓與掩膜玻璃專用" 場景，可用于檢查表面異物、傷痕及內部氣泡。文章詳細列出了其 15V 150W 的光源規(guī)格，并強調了其特的有的3分鐘強制冷卻關機流程，以確保設備在高潔凈度工業(yè)環(huán)境下的穩(wěn)定性和 longevity。
1. 設備概述
UIH-1H 型超高亮度照明裝置（UIH Series）由株式會社 INTECS 開發(fā)。該設備利用丁達爾現(xiàn)象（Tyndall Phenomenon），通過高亮度光線照射，使微小的異物、氣泡或傷痕產生光散射。
與同系列的 UIH-1C 型號不同，UIH-1H 在設計上側重于成像清晰度（結像重視），而非單純的高亮度。
2. 核心用途與檢測原理
核心用途：該設備專為拋光晶圓（Polish Wafer）的 Haze（霧度/濁度）檢測而設計。
光學特性：UIH-1H 能夠在照射面上投影出 3 條特定的檢查標記。這些標記有助于操作人員清晰地觀察晶圓表面的霧狀缺陷（Haze）。
適用對象：主要針對半導體晶圓，同時也適用于掩膜玻璃（Mask Glass）、光學部件及鏡頭等精密部件的表面檢查。
3. 技術規(guī)格
| 項目 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|
| 光源規(guī)格 | 15V 150W 專用鹵素燈 |
| 設計特點 | 結像重視型 (Imaging Emphasis) |
| 燈泡壽命 | 最高亮度下約 50 小時 / 半亮度下約 800 小時 |
| 電源要求 | AC100V |
4. 操作規(guī)范（重點）
