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隨著電子產(chǎn)品的日益復(fù)雜和芯片集成度的提高,芯片的靜電放電(ESD)測(cè)試已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)中至關(guān)重要的一項(xiàng)測(cè)試工作。ESD是一種常見的電氣現(xiàn)象,對(duì)芯片的性能和壽命造成嚴(yán)重影響,因此,進(jìn)行準(zhǔn)確的ESD測(cè)試
探針臺(tái)的精度(定位精度、接觸精度、漏測(cè)率、重復(fù)性)對(duì)環(huán)境條件極其敏感,溫度、振動(dòng)、濕度、氣壓、電磁干擾、光照/粉塵等都會(huì)直接導(dǎo)致探針偏移、接觸不良、測(cè)量漂移、圖像失焦,最終影響芯片/器件測(cè)試的良率與數(shù)
探針臺(tái)精度的影響因素:從硬件到環(huán)境全解析探針臺(tái)的精度直接決定半導(dǎo)體芯片、晶圓、器件的電性能測(cè)試準(zhǔn)確性,其誤差來源覆蓋硬件結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)配置、環(huán)境條件、操作規(guī)范四大維度,以下是核心影響因素的詳細(xì)拆解,精準(zhǔn)對(duì)
探針臺(tái)的核心工作原理是“精準(zhǔn)定位+穩(wěn)定接觸+信號(hào)傳輸”,通過機(jī)械結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)探針與微納器件(芯片、半導(dǎo)體、傳感器等)的特定測(cè)試點(diǎn)建立電學(xué)/光學(xué)連接,配合外部測(cè)試儀器(示波器、萬用表、光譜儀)采集數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)
一、定位失準(zhǔn):快速排查與修復(fù)現(xiàn)象:探針無法準(zhǔn)確接觸晶圓或芯片的測(cè)試點(diǎn),導(dǎo)致測(cè)試數(shù)據(jù)異常。1.機(jī)械結(jié)構(gòu)檢查(5分鐘)X/Y/Z軸松動(dòng):檢查探針臺(tái)臺(tái)面或探針臂的鎖緊螺絲是否松動(dòng)。緊固螺絲后,用千分表測(cè)試臺(tái)
借助ESD測(cè)試設(shè)備為芯片筑牢靜電防護(hù)墻,需從測(cè)試設(shè)備選型、測(cè)試方法實(shí)施、防護(hù)優(yōu)化策略、體系化防護(hù)建設(shè)四個(gè)層面系統(tǒng)推進(jìn),具體方案如下:一、精準(zhǔn)選型ESD測(cè)試設(shè)備,覆蓋核心測(cè)試模型芯片ESD防護(hù)需針對(duì)不同
一、射頻探針的關(guān)鍵技術(shù)特點(diǎn)使其能精準(zhǔn)滿足高頻測(cè)試需求1.高頻率響應(yīng):射頻探針的設(shè)計(jì)和采用的射頻優(yōu)化材料是實(shí)現(xiàn)高頻率響應(yīng)的關(guān)鍵。在5G通信設(shè)備測(cè)試中,射頻探針需處理高達(dá)數(shù)十GHz的信號(hào),其設(shè)計(jì)確保在如此
在ESD(靜電放電)標(biāo)準(zhǔn)持續(xù)迭代的背景下,全自動(dòng)芯片ESD測(cè)試設(shè)備可通過標(biāo)準(zhǔn)化兼容設(shè)計(jì)、模塊化架構(gòu)升級(jí)、智能化測(cè)試技術(shù)融合三大核心策略實(shí)現(xiàn)“以不變應(yīng)萬變”,具體分析如下:一、標(biāo)準(zhǔn)化兼容設(shè)計(jì):覆蓋全球主
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