在5G通信、柔性顯示、新能源電池等前沿領(lǐng)域,薄膜材料的性能直接決定了產(chǎn)品的可靠性。其中,體積電阻率和表面電阻是衡量薄膜絕緣性能的核心指標(biāo),但超薄厚度的測(cè)試卻充滿挑戰(zhàn):
● 傳統(tǒng)設(shè)備電極覆蓋不足,信號(hào)不穩(wěn)定;
● 微米級(jí)厚度易引發(fā)邊緣短路;
● 不同規(guī)格樣品需頻繁更換夾具,效率低下等。

解決方案:薄膜產(chǎn)品測(cè)試
(一)測(cè)試對(duì)象

二)測(cè)試要求
● 檢測(cè)項(xiàng)目:體積電阻率、表面電阻
● 樣品規(guī)格:10μm/14μm/40μm薄膜
(三)解決方案
針對(duì)客戶超薄薄膜材料的電學(xué)性能檢測(cè)需求,需完成體積電阻率(ρv)及表面電阻(Rs)兩項(xiàng)核心指標(biāo)測(cè)試。
1.體積電阻率(ρv)作為表征材料整體絕緣性能的核心參數(shù),其數(shù)值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當(dāng)測(cè)試超薄樣品時(shí),需要使用大電極均勻加壓,避免局部擊穿。
2.表面電阻(Rs)作為表征材料表面導(dǎo)電特性的核心參數(shù),其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級(jí)薄膜材料測(cè)試中,易引發(fā)因電極接觸不良導(dǎo)致的數(shù)據(jù)波動(dòng)。
為兼顧測(cè)試精度與效率,推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)+TH26090表面電阻率/體電阻率測(cè)試夾具的組合方案

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TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10-17A),可滿足大部分場(chǎng)景的微弱電流測(cè)量需求,大大解決薄膜材料信號(hào)漂移問題。
數(shù)據(jù)分析處理能力
TH2690系列內(nèi)置±1000V電壓源,支持1mV步進(jìn)式精密調(diào)節(jié),可實(shí)現(xiàn)從1V到1000V寬范圍電壓的精確施加與動(dòng)態(tài)控制,滿足高阻材料測(cè)試的電壓精度要求。
在10μm級(jí)超薄薄膜的體積電阻率測(cè)試中,傳統(tǒng)小電極存在兩大技術(shù)瓶頸:覆蓋失效+短路風(fēng)險(xiǎn),同惠電子針對(duì)性開發(fā)了TH26090表面電阻率/體電阻率測(cè)試夾具適用被測(cè)件尺寸:直徑 50mm ~ 125mm,厚度:10μm ~ 10mm,確保有效接觸面積,大大降低短路發(fā)生率。
薄膜材料是柔性電子、新能源等領(lǐng)域的核心基礎(chǔ),技術(shù)突破推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。同惠電子依托三十余年精密測(cè)試技術(shù)積累,以TH2690系列高精度儀器,為超薄、柔性、高阻薄膜提供檢測(cè)方案,助力全流程品控。
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