| 產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
產(chǎn)品種類 |
非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
| 價(jià)格區(qū)間 |
50萬-100萬 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件 |
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能
基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對(duì)更廣泛或更特殊的測量需求，該平臺(tái)通常支持一些擴(kuò)展功能和配件，以增強(qiáng)其應(yīng)用能力。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能
基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對(duì)更廣泛或更特殊的測量需求，該平臺(tái)通常支持一些擴(kuò)展功能和配件，以增強(qiáng)其應(yīng)用能力。
1. 大范圍掃描與圖像拼接：
標(biāo)準(zhǔn)物鏡的單次掃描視場是有限的。對(duì)于需要測量超出單視場范圍的大面積樣品（如大尺寸光學(xué)元件、平板顯示器局部、機(jī)械密封面等），可以使用軟件的大范圍掃描和圖像拼接功能。
工作原理：通過高精度的電動(dòng)載物臺(tái)，控制樣品在X和Y方向規(guī)則移動(dòng)，按網(wǎng)格順序依次測量多個(gè)相鄰區(qū)域。軟件隨后自動(dòng)將這些區(qū)域的測量數(shù)據(jù)，根據(jù)重疊區(qū)域的特征進(jìn)行識(shí)別和對(duì)齊，拼接成一幅完整、無縫的大尺寸三維形貌圖。
應(yīng)用價(jià)值：可以在保持高分辨率的同時(shí)，評(píng)估大面積區(qū)域的整體平整度、粗糙度分布、缺陷的宏觀分布等，而不會(huì)遺漏跨視場的特征。
2. 高速掃描模式：
對(duì)于需要快速進(jìn)行大量樣品檢測或在線監(jiān)控的應(yīng)用，某些配置或模式可能提供更高的掃描速度。
3. 高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）干涉測量：
當(dāng)樣品表面同時(shí)存在高反射率區(qū)域（如金屬）和低反射率區(qū)域（如深色材料）時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)白光干涉模式可能難以同時(shí)獲得良好的信號(hào)。高動(dòng)態(tài)范圍技術(shù)通過組合不同曝光時(shí)間下采集的多幅干涉圖，擴(kuò)展探測器的有效動(dòng)態(tài)范圍。
4. 膜厚測量模式：
對(duì)于透明或半透明薄膜（如氧化物薄膜、光刻膠、涂層），標(biāo)準(zhǔn)的形貌測量通常只能得到上表面形貌。專用的薄膜厚度測量模式，利用白光干涉的垂直掃描干涉原理，分析從薄膜上表面和下表面反射光產(chǎn)生的干涉信號(hào)，可以非接觸地測量薄膜厚度。
5. 電動(dòng)傾斜臺(tái)：
標(biāo)準(zhǔn)測量要求樣品表面大致垂直于光軸。對(duì)于具有固定傾角或需要測量特定傾斜面的樣品，可以配備電動(dòng)傾斜樣品臺(tái)。該樣品臺(tái)可以精確地傾斜和旋轉(zhuǎn)樣品，將待測面調(diào)整到適合測量的方向。
6. 環(huán)境隔離與特殊樣品臺(tái)：
隔振臺(tái)或主動(dòng)隔振系統(tǒng)：對(duì)于環(huán)境振動(dòng)敏感的高精度測量，可以提供更好的穩(wěn)定性。
溫控樣品臺(tái)：用于研究溫度變化對(duì)樣品表面形貌的影響，或在恒溫條件下進(jìn)行測量。
真空或氣氛控制樣品室：用于測量在空氣中易氧化、潮解或需要特殊氣氛保護(hù)的樣品。
7. 專用分析軟件模塊：
除了標(biāo)準(zhǔn)分析包，可能還提供針對(duì)特定行業(yè)或應(yīng)用的高級(jí)分析模塊，例如：
這些擴(kuò)展功能并非標(biāo)準(zhǔn)配置，用戶在選型或后續(xù)升級(jí)時(shí)，可以根據(jù)自身的具體測量需求（如樣品尺寸、測量速度、特殊樣品特性、環(huán)境要求等）向供應(yīng)商咨詢，選擇適合的配件和軟件模塊，從而將共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2的應(yīng)用潛力進(jìn)一步拓展到更專業(yè)的領(lǐng)域。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能
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