現(xiàn)代研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，無論是高校、科研院所還是企業(yè)的研發(fā)中心，往往面臨多學(xué)科交叉、樣品多樣、表征需求復(fù)雜的挑戰(zhàn)。一款測量儀器如果功能單一，可能難以滿足廣泛的科研需求。Sensofar S neox白光干涉儀作為一種集成白光干涉、共聚焦、聚焦變化等多種光學(xué)測量模式于一體的三維表面輪廓儀，以其多功能性、高分辨率、非接觸和快速測量的特點(diǎn)，在跨學(xué)科的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室中展現(xiàn)出其作為通用表面表征平臺的價值。
S neox的核心優(yōu)勢在于其模式集成。白光干涉模式擅長測量光滑至中等粗糙的表面，具有極gao 的垂直分辨率，適用于薄膜厚度、微結(jié)構(gòu)高度、表面平整度的測量。共聚焦模式對高陡坡、高反射或透明樣品有更好的適應(yīng)性，擴(kuò)展了可測樣品的范圍。聚焦變化模式則適用于大粗糙度表面的快速形貌重建。這種多模式設(shè)計(jì)使得一臺儀器能夠應(yīng)對材料科學(xué)、機(jī)械工程、微電子、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)、化學(xué)等多個領(lǐng)域不同性質(zhì)樣品的表面形貌測量需求。
在材料科學(xué)研究中，無論是金屬、陶瓷、聚合物還是復(fù)合材料，表面形貌都是重要的研究對象。S neox可以用于表征材料加工后的表面粗糙度、磨損后的三維磨損形貌、腐蝕后的點(diǎn)蝕坑、斷裂表面的特征、涂層或薄膜的厚度與均勻性、新型功能材料的表面微結(jié)構(gòu)等。其高分辨率數(shù)據(jù)可以用于計(jì)算表面積、孔隙率、功能參數(shù)等，關(guān)聯(lián)材料的制備工藝與其力學(xué)、摩擦學(xué)、光學(xué)或生物學(xué)性能。
在微納加工與MEMS領(lǐng)域，S neox可以測量光刻、刻蝕、沉積等工藝形成的微結(jié)構(gòu)尺寸和形貌，驗(yàn)證加工工藝的精度，或?qū)EMS器件的靜態(tài)和動態(tài)運(yùn)動進(jìn)行表征。
在生物醫(yī)學(xué)工程研究中，它可以測量生物材料表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)、組織工程支架的孔隙形貌、植入體表面的涂層質(zhì)量，甚至觀測細(xì)胞在 patterned 基底上的粘附形態(tài)（需固定樣品）。
在基礎(chǔ)物理學(xué)或化學(xué)研究中，可用于觀察液滴在微結(jié)構(gòu)表面的接觸角滯后現(xiàn)象、薄膜生長動力學(xué)、自組裝單分子層的形貌、晶體生長過程等。
對于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室而言，儀器的易用性和效率也很重要。S neox通常配備直觀的軟件界面，用戶經(jīng)過培訓(xùn)后可快速上手。自動測量、多區(qū)域掃描、配方化操作等功能，可以節(jié)省研究人員的時間，提高實(shí)驗(yàn)效率。其非接觸、無需樣品特殊制備（如噴金）的特點(diǎn)，簡化了測量流程，并允許對同一樣品進(jìn)行后續(xù)其他分析。
此外，S neox的測量數(shù)據(jù)是數(shù)字化的三維點(diǎn)云，便于導(dǎo)出進(jìn)行自定義的數(shù)學(xué)分析、與模擬結(jié)果對比，或進(jìn)行三維可視化展示，滿足科研論文和報(bào)告對高質(zhì)量數(shù)據(jù)與圖片的需求。
因此，對于需要一個通用、靈活、高性能的表面形貌表征工具的多學(xué)科研發(fā)實(shí)驗(yàn)室而言，投資一臺像Sensofar S neox這樣的多功能光學(xué)輪廓儀，往往能夠服務(wù)多個研究團(tuán)隊(duì)的不同項(xiàng)目，覆蓋從微米到納米尺度的多種表面測量任務(wù)，提升實(shí)驗(yàn)室的整體研究能力和效率，成為支持前沿科學(xué)探索與工程技術(shù)研發(fā)的有力工具之一。
4