觸控面板和各類顯示器是現(xiàn)代電子設(shè)備的交互界面，其表面質(zhì)量直接影響用戶的視覺與觸覺體驗(yàn)。從蓋板玻璃的平坦度、抗反射微結(jié)構(gòu)的均勻性，到透明導(dǎo)電膜的厚度、蝕刻線路的輪廓，都對(duì)制造工藝提出了精細(xì)的要求。白光干涉儀作為一種非接觸式三維表面形貌測(cè)量工具，在觸控與顯示行業(yè)的質(zhì)量控制環(huán)節(jié)有較多應(yīng)用。Sensofar S neox系統(tǒng)為此類大面積、多結(jié)構(gòu)樣品的測(cè)量提供了方案。
對(duì)于蓋板玻璃，其表面和邊緣的加工質(zhì)量是關(guān)鍵。白光干涉儀可以測(cè)量玻璃表面的平坦度、波紋度以及納米級(jí)的粗糙度，這些參數(shù)影響光學(xué)清晰度和抗眩光性能。對(duì)于2.5D或3D曲面玻璃，白光干涉儀可以測(cè)量其弧面區(qū)域的形貌，確保曲率符合設(shè)計(jì)。玻璃邊緣的拋光質(zhì)量和倒角形狀也可以通過白光干涉儀進(jìn)行檢測(cè)，以防止應(yīng)力集中和提升手感。
在抗反射、抗指紋等功能性涂層的檢測(cè)中，涂層表面的微觀結(jié)構(gòu)決定了其性能。白光干涉儀可以量化涂層表面的粗糙度，并觀察涂層是否均勻，是否有橘皮、縮孔等缺陷。通過測(cè)量涂層臺(tái)階的高度，還可以監(jiān)控涂層的厚度均勻性。
對(duì)于觸控面板的核心部件——透明導(dǎo)電膜圖案，白光干涉儀發(fā)揮著重要作用。在蝕刻形成ITO線路后，需要測(cè)量線路的寬度、高度（厚度）、側(cè)壁角度以及線邊緣的粗糙度。這些尺寸參數(shù)直接影響線路的導(dǎo)電性和透光性。白光干涉儀可以快速對(duì)線路進(jìn)行三維成像，獲取其截面輪廓，精確測(cè)量關(guān)鍵尺寸。同時(shí)，它還能檢查蝕刻過程中是否產(chǎn)生了過蝕刻或殘留，以及線路表面是否有缺陷。
在顯示面板領(lǐng)域，白光干涉儀可用于測(cè)量彩色濾光片的間隔物高度、TFT陣列的臺(tái)階覆蓋性、以及微透鏡陣列的形貌等。對(duì)于OLED顯示中使用的薄膜封裝層，其表面平整度對(duì)水氧阻隔性能有影響，也可用白光干涉儀進(jìn)行監(jiān)控。
S neox系統(tǒng)通常配備大行程電動(dòng)樣品臺(tái)和高分辨率導(dǎo)航相機(jī)，便于對(duì)手機(jī)屏、平板屏乃至筆記本屏幕尺寸的面板進(jìn)行快速定位和多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量。其非接觸特性避免了對(duì)脆弱導(dǎo)電線路和涂層的損傷。測(cè)量軟件可以自動(dòng)識(shí)別和測(cè)量多個(gè)重復(fù)圖案的特征尺寸，并生成包含CPK等統(tǒng)計(jì)過程控制參數(shù)的報(bào)告，滿足大規(guī)模生產(chǎn)的質(zhì)量控制需求。
隨著柔性顯示、折疊屏等新技術(shù)的出現(xiàn)，對(duì)曲面、可彎曲表面的形貌測(cè)量提出了新挑戰(zhàn)。白光干涉儀的技術(shù)靈活性使其有望適應(yīng)這些新的測(cè)量需求。Sensofar S neox白光干涉儀在觸控與顯示行業(yè)的應(yīng)用，有助于制造商從微觀尺度控制產(chǎn)品外觀與功能質(zhì)量，提升產(chǎn)品良率和可靠性。
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