中圖儀器SuperViewW系列白光干涉儀快速無損量化檢測微透鏡陣列，憑借納米級高精度檢測能力，成為微透鏡陣列檢測的核心裝備，精準(zhǔn)適配光通信、微光學(xué)制造等多領(lǐng)域的檢測需求，契合當(dāng)下行業(yè)技術(shù)升級趨勢！

產(chǎn)品應(yīng)用

隨著AI算力需求激增，光模塊向800G、1.6T高速演進(jìn)，這款設(shè)備可高效完成：

1.光通信光模塊微透鏡陣列檢測，把控核心曲率、面型誤差等參數(shù)，保障光耦合效率與信號穩(wěn)定性；

2.適配VCSEL光學(xué)耦合透鏡檢測，精準(zhǔn)測量納米級幾何參數(shù)，避免光路偏移問題；

3.在消費(fèi)電子領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)AR/VR微光學(xué)器件的三維形貌檢測，滿足微光學(xué)元件的高精度質(zhì)控要求；

4.還能針對晶圓制造環(huán)節(jié)，完成晶圓級微透鏡陣列的批量檢測，即便晶圓上有數(shù)萬微透鏡單元，也能實(shí)現(xiàn)高效全覆蓋。

微透鏡陣列微觀三維形貌檢測圖

白光干涉儀還原微透鏡細(xì)微結(jié)構(gòu)形貌

技術(shù)參數(shù)

1.重復(fù)性：粗糙度RMS重復(fù)性可達(dá) 0.005nm（依據(jù)ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，測量Sa為0.2nm硅晶片）。

2.臺階測量精度：準(zhǔn)確度達(dá)0.3%，重復(fù)性0.08% (1σ)。

3.超高分辨率：Z向掃描范圍10mm，形貌重復(fù)性STR達(dá) 0.1nm。

4.氣浮隔振：標(biāo)配氣浮式隔振底座，有效隔離地面振動噪聲，確保每一次微觀測量的精準(zhǔn)。

5.高清影像：搭載 1024×1024 高分辨率影像系統(tǒng)，微觀細(xì)節(jié)纖毫畢現(xiàn) 。

6.全電動控制：Z軸電動聚焦（行程100mm），可選配5孔電動物鏡轉(zhuǎn)塔及XY自動位移載物臺，操作絲滑精準(zhǔn)。

7.豐富的鏡頭群：標(biāo)配10×干涉物鏡，可選配從2.5×到100×的多種規(guī)格，配合光學(xué)ZOOM，滿足不同視場需求。

8.便捷操控：配備集成式操縱桿，支持三軸調(diào)節(jié)、速度控制及光源調(diào)節(jié)，像玩游戲一樣輕松搞定精密測量。

SuperViewW系列白光干涉儀快速無損量化檢測微透鏡陣列，一臺設(shè)備覆蓋微光學(xué)制造多類核心應(yīng)用場景，適配企業(yè)從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程檢測需求，是光通信、微光學(xué)器件制造企業(yè)的質(zhì)檢裝備。

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注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。