旋涂是一種用于將均勻薄膜沉積到平坦基材上的程序。通常在基材中心涂上少量涂層材料，基材要么低速旋轉(zhuǎn)，要么根本不旋轉(zhuǎn)。然后使基材高速旋轉(zhuǎn)，以便通過離心力散布涂層材料。 用于旋涂的機(jī)器稱為旋涂機(jī)，也叫勻膠機(jī)。
在涂覆您的第一個(gè)薄膜之前，一個(gè)成功的結(jié)果需要您注意以下幾點(diǎn)：
• 環(huán)境條件，包括溫度、濕度、空氣中的顆粒物等。
• 您的耗材質(zhì)量——您的化學(xué)成分是否新鮮？
• 基材和設(shè)備的清潔度。從受污染的基材開始會(huì)在開始之前破壞您的過程。
正確居中的基板
在旋涂機(jī)上將基材準(zhǔn)確居中可實(shí)現(xiàn)一致的涂層。不規(guī)則的形狀需要以眼睛為中心。方形和矩形基板受益于嵌入式卡盤，該卡盤自動(dòng)使基板居中并減少旋涂期間的邊緣積聚。
2、靜態(tài)點(diǎn)膠
大多數(shù)人開始使用靜態(tài)分配方法進(jìn)行旋涂。這是開始旋涂的簡單方法，需要您將化學(xué)品分配到固定的基材上。
3、注入你的涂布樣品
使用移液器或注射器穿過旋涂機(jī)蓋上的孔，將平穩(wěn)的化學(xué)物質(zhì)流分配到基板的中心。一般來說，材料應(yīng)該被分配，直到它覆蓋基材直徑的50%
開始旋轉(zhuǎn)
一旦分配了正確數(shù)量的材料，就開始涂層程序。汶顥勻膠機(jī)在旋涂配方的每一步都可以編程，以提高速度和加速度。
5、擴(kuò)散
您的旋涂機(jī)應(yīng)進(jìn)行編程，以允許中間步驟將基材加速到中等速度，并允許化學(xué)物質(zhì)在表面上順利擴(kuò)散。
6、多余的材料被丟棄
當(dāng)材料到達(dá)基板邊緣時(shí)，進(jìn)一步的加速步驟將從晶圓上鑄造出多余的材料。汶顥旋涂機(jī)的工藝室旨在防止多余的材料濺回基板上。
加速到最終旋轉(zhuǎn)速度
最后一步需要您的旋涂機(jī)快速加速到產(chǎn)生正確厚度涂層所需的最終旋轉(zhuǎn)速度。
8、溶劑蒸發(fā)
在最終旋轉(zhuǎn)速度下，溶劑將從涂層中蒸發(fā)。控制旋涂機(jī)上的排氣量將使您能夠調(diào)整工藝室中溶劑蒸氣的濃度。
9、邊膠
旋涂工藝會(huì)在基板邊緣留下堆積的材料。
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