
臺(tái)面尺寸100×100mm
行程15mm
負(fù)載0-4kg(寬負(fù)載)
雙向重復(fù)定位精度±150nm
最大速度0.5mm/s
最小步距30nm
馬達(dá)型號(hào)壓電馬達(dá)
位置傳感器30nm分辨率光柵
主體材質(zhì)鋁合金(黑色陽極氧化)
重量1.5kg
1. 產(chǎn)品圖均為渲染效果圖,僅供參考。
2. 在購買夾持光學(xué)元件鏡架時(shí),請確定元件的尺寸及厚度,確保匹配。
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