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KEY 閥門 SPV-100-N 技術(shù)參數(shù)
閱讀：75 發(fā)布時間：2025-10-13低速氣動不銹鋼閥門Key High 的低速泵閥系列（SPV）是一系列經(jīng)濟實惠、易于使用的閥門。SPV 系列閥門是兩級閥門，可提高生產(chǎn)率并減少真空系統(tǒng)內(nèi)的湍流。Key High 的 SPV 系列閥門具有我們在"PSA"系列閥門中經(jīng)過現(xiàn)場驗證的所有功能。SPV 閥門在主閥內(nèi)內(nèi)置了一個小型旁通閥。這種方法提供了緊湊的設(shè)計，并最小化了組件的物理占用空間。工作原理SPV 閥門是兩級閥門。首先，打開旁通閥，緩慢啟動泵降周期。一旦腔室達到指定的真空壓力，主閥打開，實現(xiàn)全泵速。SPV 閥門具有可拆卸節(jié)流孔，使用戶能夠更好地控制泵降周期。Key High 的 SPV 閥門專為控制敏感應(yīng)用的泵降周期而設(shè)計。當(dāng)與我們的 DF 系列擴散器配合使用時，幾乎可以消除基板的湍流和顆粒問題。我們的 SPV 系列閥門已成功安裝在許多應(yīng)用中，包括半導(dǎo)體和光學(xué)行業(yè)。它們允許對粗抽過程進行精確控制。特點• 緊湊的占地面積• 波紋管密封• 標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口• 所有 GTAW 焊縫均為內(nèi)部或 100% 熔透• 可互換節(jié)流孔，標(biāo)準(zhǔn)尺寸為.093"、.125"、.187"• 旁通閥常閉，故障安全• 包含 120/60 電磁閥，可根據(jù)要求提供其他電壓