在高真空環(huán)境下，通過電阻加熱或電子束轟擊使鍍膜材料（蒸發(fā)源）氣化，蒸汽在基片表面冷凝形成薄膜，熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空鍍膜、薄膜沉積、PVD、蒸鍍材料
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