旋涂儀（Spin Coater），又稱勻膠機或旋轉(zhuǎn)涂覆機，是一種用于在基片（如硅片、玻璃、金屬等）表面均勻涂覆薄膜的實驗或生產(chǎn)設(shè)備。它通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，使液態(tài)材料（如光刻膠、聚合物溶液、納米材料懸浮液等）均勻鋪展并形成可控厚度的薄膜，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)涂層、材料科學(xué)等領(lǐng)域。
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