目錄:北京華丞電子有限公司>>真空測量控制>> PC210 壓力控制器
創(chuàng)新點
支持雙電源寬范圍供電
模擬電壓四種組合形式
上下游控壓
應(yīng)用領(lǐng)域
半導體-集成電路
半導體-顯示
生命科學-分析儀器
科學研究-實驗器材
技術(shù)指標
| 型號 | PC210 |
| 壓力類型 | 絕壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 絕壓: 100Torr、200Torr、1000Torr; 300Kpa |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 200SCCM; 1、2、4、5、10、20SLM |
| 控制方式 | 上游、下游 |
| 溫度系數(shù) | Zero: ±0.04% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±0.5% of Reading |
| 工作溫度范圍 | 10℃~50℃ |
| 機械接口 | VCR 1/4"陽接頭、VCR1/2"陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉 |
| 外漏 | <1x10-9(scc/sec He) |
| 內(nèi)漏 | <1.0% of 閥口滿量程流量或者1sccm( 1個大氣壓N2 ) 中較大值 |
| 供電電源 | ±15VDC |
| 電氣接口 | DB-15 針 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N2)標定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴); KPa (千帕)
標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點值
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