目錄:北京華丞電子有限公司>>氣體流量測量控制>> CS316 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
創(chuàng)新點
電化學拋光技術(shù)
恒功率傳感技術(shù)
壓力補償技術(shù)
應用領(lǐng)域
半導體—集成電路
清潔能源—光伏
技術(shù)指標
| 型號 | CS316 |
| 流量規(guī)格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10¹² Pa·m³/s |
| 響 應 時 間 | ≤0.7 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規(guī)格≤10SLM
0.15~0.35MPa 流量規(guī)格>10SLM |
| 溫 度 系 數(shù) | 零點: ≤±0.02%F.S./℃; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 復 精 度 | ±0.2%F.S. |
| 線性 | ±0.5%F.S. |
| 壓力瞬變靈敏度 | 10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.) 【3PSI/秒】
100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.) 【5PSI/秒】 |
| 耐壓 | 3.5 MPa |
| 密 封 材 料 | 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ |
| 輸 入 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 輸 出 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 電源 | ±8~±16 VDC(雙極)或+14~+28 VDC (單極) |
| 標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |
10
化工儀器網(wǎng)