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API激光干涉儀基于激光干涉測量原理,利用激光的高相干性特性,通過檢測測量光束與參考光束之間的光程差變化,實現(xiàn)對目標幾何量的高精度量化。該設備可達成微米級乃至亞微米級的測量精度,其測量范圍覆蓋線性位移、角度、平面度等多項幾何參數(shù),為精密制造過程中的多維度質(zhì)量檢測提供了可能。
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