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PGI(Phase Grating Interferometer)系列是泰勒·霍普森推出的超高精度接觸式輪廓儀,廣泛用于計量實驗室和制造領域。PGI 采用獨特的相位光柵干涉技術(shù),結(jié)合納米級分辨率的垂直傳感器和高穩(wěn)定性機械結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)亞納米級的形貌測量。
該系統(tǒng)能夠精確測量復雜幾何形狀,如非球面透鏡、自由曲面、微結(jié)構(gòu)陣列、密封面、刃口半徑等,測量范圍從幾微米到數(shù)十毫米,垂直分辨率可達 0.01 nm。PGI 支持全自動測量程序、多軸聯(lián)動掃描及溫度補償功能,確保長期重復性和準確性。配合 Metrology 軟件套件,用戶可進行 ISO 10110 光學元件分析、GD&T 幾何公差評估等高級任務。PGI 被廣泛應用于光學、半導體、所及國防科技領域,是表面形貌與幾何計量的黃金標準設備。
