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篤摯儀器（上海）有限公司
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菲希爾X射線測厚儀FISCHER XDL240關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)
1. 測量系統(tǒng)
X 射線源：帶鈹窗口的鎢靶射線管
高壓檔位：三檔可調(diào) (30kV/40kV/50kV)
探測器：比例計(jì)數(shù)管 (Proportional counter tube)，兼顧快速測量與小光斑需求
測量元素范圍：鈦 (Ti,22) 至鈾 (U,92)，最多可測25 層鍍層結(jié)構(gòu)
最小測量光斑：約?0.2mm(標(biāo)準(zhǔn)配置)
基本濾片：3 種可切換，優(yōu)化不同元素激發(fā)效率
2. 工作臺參數(shù)
XY 軸行程：≥95×150mm，定位精度高
Z 軸行程：≥140mm，可編程自動聚焦，適配不同高度樣品
DCM 技術(shù)：測量距離補(bǔ)償法，可實(shí)現(xiàn)80mm 深度腔體遠(yuǎn)距離對焦，解決深腔測量難題
3. 環(huán)境與安全
工作溫度：10°C – 40°C，濕度≤95%(無結(jié)露)
存儲溫度：0°C – 50°C
防護(hù)等級：整機(jī)符合輻射安全標(biāo)準(zhǔn)，帶安全聯(lián)鎖保護(hù)
