產(chǎn)品介紹
氫-氟酸濃度分析儀,產(chǎn)品具有高精度、SEMIG5級(jí)、耐高溫、長壽命光源、恒溫探測器等特點(diǎn),測量范圍0-55%。傳感器采用超純PTFE/PFA流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡,通過長期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā),解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測控類產(chǎn)品的“卡脖子"問題。
氫-氟酸濃度分析儀,無需樣品預(yù)處理,無需試劑耗材,秒量級(jí)的快速測量,讓企業(yè)實(shí)時(shí)掌握生產(chǎn)動(dòng)態(tài)。在檢測過程中無機(jī)械動(dòng)作,確保長期使用穩(wěn)定。儀表采用長達(dá)10萬小時(shí)的超長壽命光源,檢測過程無機(jī)械動(dòng)作,確保長期穩(wěn)定運(yùn)行,降低維護(hù)成本。全平面結(jié)構(gòu)的檢測棱鏡,避免藏污納垢。出廠校準(zhǔn)和自動(dòng)溫度補(bǔ)償,讓您直接投入使用,無需繁瑣設(shè)置。支持上位機(jī)通訊,4-20mA&RS485信號(hào)輸出、報(bào)警及控制等開關(guān)量信號(hào)輸出,支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能,可定制數(shù)據(jù)模型。
應(yīng)用領(lǐng)域
氫-氟酸濃度分析儀主要應(yīng)用于需要監(jiān)測和控制氫-氟酸濃度的領(lǐng)域,包括:
1. 半導(dǎo)體制造:
刻蝕工藝:在半導(dǎo)體制造過程中,氫-氟酸被廣泛用作刻蝕劑,用于去除氧化硅、氮化硅等材料??刂茪?氟酸濃度對于控制刻蝕速率、確??涛g均勻性至關(guān)重要。
清洗工藝:氫-氟酸也用于清洗晶圓表面的雜質(zhì)和殘留物。濃度控制同樣影響清洗效果和晶圓質(zhì)量。
摻雜工藝:某些摻雜工藝中,氫-氟酸被用于預(yù)處理晶圓表面。
2. 太陽能電池制造:
3. 液晶顯示器(LCD)和OLED制造:
4. 化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室:
5. 電子化學(xué)品生產(chǎn):
6. 研究機(jī)構(gòu):
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CYR-E-HF |
測量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
信號(hào)輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號(hào)輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級(jí)可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |




