產(chǎn)品介紹
在半導(dǎo)體、微電子等高科技領(lǐng)域,電子級(jí)氫-氟酸(HF)以其發(fā)揮清洗和蝕刻功能。
在保障產(chǎn)品品質(zhì)方面,濃度控制是確保清洗和蝕刻效果的基礎(chǔ),避免過度或不足,從而確保產(chǎn)品表面質(zhì)量和性能。
穩(wěn)定生產(chǎn)工藝方面,HF濃度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致工藝不穩(wěn)定,影響生產(chǎn)效率和良品率,穩(wěn)定的濃度控制是實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。
降低生產(chǎn)成本方面,通過控制HF用量,減少浪費(fèi),降低廢液處理成本,實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益化。
提升安全性方面,掌握HF濃度有助于評(píng)估潛在的安全風(fēng)險(xiǎn),并采取相應(yīng)的防護(hù)措施,保障操作人員安全。
滿足環(huán)保要求方面,控制HF用量,減少排放,有助于企業(yè)滿足日益嚴(yán)格的環(huán)保法規(guī)。
電子級(jí)氫-氟酸其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,涵蓋半導(dǎo)體制造,用于硅片清洗、氧化層蝕刻、金屬雜質(zhì)去除等關(guān)鍵工藝;微電子制造,應(yīng)用于集成電路制造、液晶顯示器制造、太陽(yáng)能電池制造等環(huán)節(jié);以及實(shí)驗(yàn)室研究,在化學(xué)分析、材料研究等方面發(fā)揮作用。
然而,傳統(tǒng)的氫-氟酸濃度檢測(cè)方法往往依賴于人工取樣分析,這種方式存在諸多弊端:耗時(shí)費(fèi)力,需要人工取樣、送檢、等待分析結(jié)果,導(dǎo)致效率低下;滯后性,分析結(jié)果無(wú)法實(shí)時(shí)反映HF濃度變化,無(wú)法及時(shí)調(diào)整工藝;誤差較大,人工操作容易引入誤差,影響檢測(cè)精度;更重要的是,存在安全性問題,直接接觸高腐蝕性的HF具有較高的安全風(fēng)險(xiǎn)。因此,尋求一種更高效、安全的氫-氟酸濃度檢測(cè)方法勢(shì)在必行。
氫-氟酸在線濃度檢測(cè)儀,產(chǎn)品具有高精度、SEMIG5級(jí)、耐高溫、長(zhǎng)壽命光源、恒溫探測(cè)器等特點(diǎn),測(cè)量范圍0-55%。傳感器采用超純PTFE/PFA流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡,通過長(zhǎng)期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā),解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控類產(chǎn)品的“卡脖子"問題。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
不用對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理,無(wú)需試劑耗材,整個(gè)測(cè)量過程秒量級(jí)。
長(zhǎng)達(dá)10萬(wàn)小時(shí)的超長(zhǎng)壽命光源,降低使用和維護(hù)成本。
部分物料不受顏色、濁度影響。
部分物料不受氣泡、顆粒物影響。
部分物料不受檢測(cè)對(duì)象壓力變化、流量突變、湍流現(xiàn)象的影響。
儀表在檢測(cè)過程中無(wú)機(jī)械動(dòng)作,確保長(zhǎng)期使用穩(wěn)定。
檢測(cè)棱鏡全平面結(jié)構(gòu),避免光學(xué)窗口藏污納垢。
出廠校準(zhǔn)和自動(dòng)溫度補(bǔ)償,直接投入使用。
支持上位機(jī)通訊,4-20mA&RS485信號(hào)輸出。
支持報(bào)警及控制等開關(guān)量信號(hào)輸出。
支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能,可定制數(shù)據(jù)模型。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CYR-E-HF |
測(cè)量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
測(cè)量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測(cè)量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
信號(hào)輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號(hào)輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級(jí)可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |





